تجهیزات اچینگ خشکراه حلی با کارایی بالا-برای پردازش دقیق مواد در صنایع مختلف است. استفاده از پیشرفتهحکاکی یون واکنشی (RIE)این تجهیزات بدون مواد شیمیایی مایع، بدون تماس بدون تماس، باقیمانده و بدون مواد شیمیایی مایع، آن را برای برنامههایی ایدهآل میکند که به دقت میکرو-و انطباق با محیط زیست نیاز دارند.
نوآوری های فنی:
قابلیت اچینگ ناهمسانگرد
- این سیستم واکنشهای شیمیایی (گونههای فعالشده پلاسما) را با بمباران یونی جهتدار ترکیب میکند و پروفایلهای حکاکی عمودی دقیق را ممکن میسازد. این برای ایجاد ریزساختارها بر روی فلزات (به عنوان مثال، فولاد ضد زنگ، آلیاژهای تیتانیوم)، سرامیک (Al2O3، SiC)، و پلیمرها (PEEK، PTFE) حیاتی است.
- یکنواختی اچینگحتی برای هندسه های پیچیده در سطح 5±٪ در سطح زیرلایه هایی تا قطر 800 میلی متر حفظ می شود.
طراحی مدولار و مقیاس پذیری
- تنظیمات منبع یون چندگانه: این تجهیزات از منابع یونی جفت شده خطی، دایرهای یا فرکانس رادیویی{0}}پشتیبانی میکند که امکان پردازش همزمان چند قطعه کار را فراهم میکند.
- پارامترهای فرآیند قابل تنظیم: انرژی یون (50-500 eV) و چگالی پلاسما (1010-1012cm-3) را می توان برای متعادل کردن سرعت اچ (تا 30 نانومتر در دقیقه) و صافی سطح (Ra < 0.1 میکرومتر) بهینه کرد.
اکو-عملیات دوستانه
- ضایعات مایع صفر: بر خلاف اچینگ مرطوب، فرآیند خشک دفع مواد شیمیایی خطرناک را حذف می کند.
- طراحی کارآمد انرژی-: مصرف برق 10 کیلووات 30٪ کمتر از سیستم های سنتی است، با اتلاف گرما از طریق یک سیستم خنک کننده آب خالص حلقه بسته (بیشتر یا برابر با 4 m³/h نرخ جریان) مدیریت می شود.
کنترل فرآیند پیشرفته
- نظارت بر زمان واقعی-: سیستم کنترل یکپارچه مبتنی بر رایانه{0}}سطوح خلاء (فشار پایه کمتر یا برابر با 5.0×10-4 Pa)، نرخ جریان گاز و پایداری پرتو یونی را ردیابی میکند.
- پروتکل های ایمنی خودکار: حفاظت از اضافه بار، سرکوب قوس، و مکانیسم های خاموش شدن اضطراری ایمنی عملیاتی را تضمین می کند.
عملکرد قبل از{0}} و ارسال{1}}اچ کردن
- قبل از اچ کردن: سطوح ممکن است دارای لایه های اکسیداسیون، باقی مانده های آلی یا بافت های ناهموار باشند که چسبندگی پوشش یا عملکرد عملکردی را به خطر می اندازد.
- ارسال{0}}اچ کردن: یک سطح تمیز و بدون نقص- با زبری کنترل شده به دست می آید که فرآیندهای بعدی مانند پوشش PVD، چسباندن یا چاپ را بهبود می بخشد.
برنامه های کاربردی:
- اپتیک: حکاکی ریزساختارهای ضد انعکاسی-روی لنزها و پانلهای نمایشگر.
- ابزار دقیق: بافت سطح ابزارها و قالب ها برای بهبود مقاومت در برابر سایش.
- اجزای انرژی نو: الکترودهای ساختاری برای سیستم های باتری و پیل سوختی.
تگ های محبوب: تجهیزات اچ خشک، تولید کنندگان تجهیزات اچ خشک چین، تامین کنندگان، کارخانه, polimeer etsapparaat, Saamgestelde materiaal -etstoerusting, Optiese toestelle -etsmasjinerie, isotropiese etsmasjinerie, MEMS etsapparatuur, Etstoerusting met 'n hoë werkverrigting
