توضیحات تجهیزات:
· معرفی تجهیزات:
بیان مولکول های گاز فرآیندی که از محفظه اچینگ عبور می کنند، برای تولید پلاسما تجزیه و یونیزه می شوند.
بیان برخی از گروه های فعال در پلاسما با سطح ماده اچ شده واکنش شیمیایی می دهند.
تجهیزات حکاکی فیلم نازک از طریق منبع تغذیه پالس/فرکانس رادیویی، یون های مثبت موجود در پلاسما به طور فیزیکی بر روی سطح مواد اچ شده بمباران می شوند، به طوری که با ترکیبی از فیزیک و شیمی، سطح مواد را تمیز، اصلاح و حکاکی می کنند.
· مزایای تجهیزات:
دمای حکاکی بسیار پایین-برای برآورده کردن شرایط دمایی در موارد مختلف، می تواند از تنش حرارتی و تغییر شکل بستر جلوگیری کند.
بیان منبع یون دوگانه را می توان توسط هر دو طرف سیلندر بلند کرد، تعمیر و نگهداری آسان.
تجهیزات حکاکی فیلم نازک》از منبع تمیز کردن پرتو یونی و فناوری تخلیه منحصر به فرد، چگالی پلاسما بالا، اثر تمیز کردن اچ خوب است، با یکنواختی خوب است.
هشدار و حفاظت اکسپرس: حفاظت ایمنی جامع شامل: عملکرد حفاظت ایمنی دما، عملکرد حفاظت از اضافه بار، عملکرد حفاظت از زنگ قطع اتصال کوتاه، عملکرد حفاظت از سوء عملکرد مختلف است.
فیلد برنامه:
مواد قابل اچ اکسپرس: فلز، غیر{0}}فلز، آلیاژ، اجزای الکترونیکی (سیلیکون تک کریستالی، سیلیکون آمورف، پلی سیلیکون، SOI)، اکسیدهای فلزی، نیتریدها، کاربیدها، سرامیک ها، پلیمرها، مواد ابررسانا و غیره.
express می توان از آن به عنوان یک دستگاه محو کننده فیلم برای فیلم های DLC/ta{0}}C استفاده کرد.
express را می توان در: لوازم الکترونیکی مصرفی 3C، قطعات الکترونیکی، اپتیک، حمل و نقل، قالب ابزار، لوازم خانگی، انرژی های نو، پزشکی، موسسات تحقیقاتی و سایر صنایع استفاده کرد.
قبل از یون اچ پس از یون اچ
تگ های محبوب: تجهیزات حکاکی فیلم نازک، تولید کنندگان تجهیزات اچ فیلم نازک چین، تامین کنندگان، کارخانه, Patroon -etstoerusting, Saamgestelde materiaal -etstoerusting, Optiese toestelle -etsmasjinerie, Selektiewe etstoestel, konformale etsstelsel, Biomediese etsgereedskap
