تجهیزات لایه نازک چند قوس یونی

این سیستم چند{0}}آبکاری یونی قوس الکتریکی از تبخیر قوس کاتدی برای رسوب دادن پوشش‌های سخت متراکم،- با چسبندگی بالا و لایه‌های نازک کاربردی استفاده می‌کند. با ضربه زدن به یک قوس-جریان بالا و ولتاژ کم- بر روی اهداف کاتدی جامد، مواد فوراً در یک محیط خلاء بالا تبخیر و یونیزه می‌شوند. این سیستم با گازهای راکتیو (N2، O2 یا C2H2)، پوشش‌های ترکیبی استوکیومتری را مستقیماً روی زیرلایه‌های فلزی یا غیرفلزی سنتز می‌کند. این معماری که برای تولید مداوم صنعتی طراحی شده است، انتشار قوس پایدار، کنترل استوکیومتری دقیق، و عملکرد دسته‌ای{13}}به{14}}فیلم دسته‌ای قابل تکرار را تضمین می‌کند.

فناوری قوس کاتدی فیلتر شده:مجهز به فرمان میدان مغناطیسی و کانال‌های فیلتر ماکرو{0} ذرات (قطرات) برای از بین بردن عیوب سطحی که باعث می‌شود روکش‌های فوق‌العاده-صافی برای اجزای دقیق ارائه شود.

-کنترل گاز راکتیو حلقه بسته:کنترل‌کننده‌های جریان جرمی (MFC) که به فشار کل و بازخورد انتشار نوری متصل هستند، فشارهای جزئی را در طول سنتز ترکیب واکنش‌پذیر حفظ می‌کنند.

درایو فیکسچر سیاره‌ای چند محوری:محورهای چرخش و چرخش مستقل، بمباران یونی و توزیع ضخامت پوشش یکنواخت را در هندسه‌های پیچیده سه بعدی- تضمین می‌کنند.

لوله کشی وکیوم مدولار:منیفولدهای فولادی ضد زنگ -استاندارد الکترو-صیقل‌شده ISO، گازهای خروجی را به حداقل می‌رسانند و فواصل نگهداری معمول را ساده می‌کنند.

قابلیت ردیابی داده های دسته ای:ثبت خودکار فشار محفظه، ولتاژ بایاس بستر، جریان قوس الکتریکی و نرخ جریان گاز برای ممیزی کیفیت جامع.

سیستم فرعی خلاء-برای چرخش سریع و مدیریت قوی محصولات جانبی فرآیند مهندسی شده است:

مرحله خشن کردن:پمپ‌های پره‌ای دوار یا پمپ‌های پیچ خشک همراه با دمنده‌های Roots برای تولید خلاء خام رایگان-.

مرحله خلاء بالا:پمپ‌های انتشار با تله‌های سرد نیتروژن مایع یا پمپ‌های مولکولی{{0} توربو با توان بالا (TMP) که بر اساس الزامات اتاق تمیز و اهداف زمان چرخه انتخاب شده‌اند.

سوپاپ و سنج:دریچه‌های دروازه‌ای پنوماتیک و دریچه‌های ایزوله{0}}با قابلیت اطمینان بالا. اندازه‌گیری خلاء برد کامل با استفاده از گیج‌های پیرانی و یونیزاسیون کاتد داغ که در PLC ایمنی اینترلاک ادغام شده‌اند.

کاتدهای تبخیر
فلزات خالص:آلیاژهای Ti، Cr، Al، Zr، Cu، TiAl، فولاد ضد زنگ.

آلیاژها / ترکیبات:اهداف زینتر شده سفارشی برای سختی تخصصی، ضرایب اصطکاک و مقاومت در برابر اکسیداسیون فرموله شده اند.

مواد بستر
فولادهای ابزار:فولاد سریع-(HSS)، درج های کاربید تنگستن، فولادهای قالب کار سرد/گرم.

فلزات مهندسی:آلیاژهای تیتانیوم، فولاد ضد زنگ ساختاری، آلومینیوم (با استفاده از پیش{0}}تصفیه مناسب).

سرامیک فنی:سرامیک های صنعتی انتخابی که نیاز به آماده سازی رابط رسانا دارند.

ابزار برش و شکل دهی
انواع پوشش:TiN، TiAlN، AlTiN، CrN.

تاثیر عملکرد:به طور قابل توجهی سختی سطح را افزایش می دهد (تا 3000+ HV)، ضرایب اصطکاک را کاهش می دهد و در برابر اکسیداسیون حرارتی مقاومت می کند. ثابت شده است که طول عمر مته ها، آسیاب های انتهایی، برش های اجاق گاز و قالب های مهر زنی را تحت شرایط ماشینکاری با سرعت بالا افزایش می دهد.

قطعات خودرو
برنامه های کاربردی:رینگ‌های پیستون، شیرآلات، قطعات تزریق سوخت، و سخت‌افزار تزئینی یا کاربردی بیرونی که به مقاومت در برابر سایش و خوردگی نیاز دارند.

ابزار پزشکی
برنامه های کاربردی:پوشش‌های BioCompatible TiN و TiCN روی چاقوی جراحی، پیچ‌های استخوانی و ایمپلنت‌های دندانی برای افزایش غیرفعال شدن سطح و دوام سایش.

سیستم ها برای مطابقت با ردپای تولید و پارامترهای فرآیند خاص مهندسی شده اند:

اندازه اتاقک:قطرها و ارتفاعات داخلی سفارشی متناسب با حداکثر ابعاد دسته و وزن وسایل.

پیکربندی منبع:ترکیبات ترکیبی از منابع قوس و کاتدهای کندوپاش مگنترون مسطح برای معماری های چند لایه و نانوکامپوزیت

سطح اتوماسیون:سلول‌های مستقل نیمه{0}}یا خطوط تولید کاملاً یکپارچه سازگار با سیستم‌های بارگیری رباتیک.

تست نشت هلیوم:هر محفظه خلاء قبل از انتشار کارخانه تحت آزمایش نشت طیف سنج جرمی دقیق قرار می گیرد (نرخ نشت<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

ایمنی برق:کابینت های کنترلی که مطابق با استانداردهای CE / UL با مدارهای ایمنی کاملاً قفل شده ساخته شده اند.

تست پذیرش کارخانه (FAT):آزمایش قبل از حمل و نقل برای تأیید فشار نهایی، یکنواختی دمای بخاری، و پایداری احتراق پایدار قوس در یک چرخه 24 ساعته مداوم انجام می‌شود.

دستورالعمل های آماده سازی سایت:مستندات طرح جامع ابزاری که نرخ جریان/فشار آب خنک کننده، هوای فشرده، تهویه خروجی و افت قدرت را پوشش می دهد.

در{0}}راه اندازی سایت:مهندسان باتجربه فرآیند و مکانیک برای تراز سازه، تأیید نشت خلاء، اتصال برق-و تحویل دستور اولیه اعزام شدند.

آموزش اپراتور:آموزش{0}}در مورد تعمیر و نگهداری معمول، جایگزینی هدف کاتد، و عیب‌یابی PLC.

تشخیص از راه دور:ادغام ماژول VPN ایمن برای به‌روزرسانی‌های{0}زمان واقعی نرم‌افزار، تجزیه و تحلیل پارامترها، و تشخیص سریع خطا-.