بررسی اجمالی محصول
PVD Composite Thin Film Equipment یک پلت فرم رسوبگذاری خلاء صنعتی است که برای رسوبگذاری لایههای نازک چند لایه، آلیاژی و نانوکامپوزیتی مهندسی شده است. این سیستم با ادغام کندوپاش مگنترون و منابع قوس کاتدی در یک محفظه خلاء، کنترل دقیقی بر ریزساختار فیلم، تنش پسماند و چسبندگی سطحی را ممکن میسازد. این پلت فرم که برای تولید مداوم و تحقیق و توسعه پیشرفته ساخته شده است، بسترهای فلزی، سرامیکی و پلیمری را با هندسه محفظه مقیاس پذیر در خود جای می دهد.
-
![PVD کامپوزیت رسوب گذاری خلاء تجهیزات]()
PVD کامپوزیت رسوب گذاری خلاء تجهیزاتاین پلتفرم رسوبگذاری خلاء کامپوزیت PVD، چندین تکنیک رسوبگذاری را در یک محیط محفظه واحد ادغام میکند تا لایههای نازک فلزی، آلیاژی یا دیالکتریک یکنواخت، چند لایهای-را رسوب دهد. معماریهای...مشاهده بیشتر -
![سیستم رسوب لایه نازک هیبریدی PVD]()
سیستم رسوب لایه نازک هیبریدی PVDسیستم رسوب لایه نازک هیبریدی PVD تبخیر حرارتی، تبخیر پرتو الکترونی (e-پرتو) و کندوپاش مگنترون RF/DC را در یک معماری خلاء یکپارچه میکند. این پلتفرم رسوب متوالی یا همزمان فلزات، آلیاژها، و دی...مشاهده بیشتر -
![PVD Multi{0}}تجهیزات لایه نازک فرآیند]()
PVD Multi{0}}تجهیزات لایه نازک فرآیندPVD Multi{0}}تجهیزات لایه نازک فرآیندی یک پلت فرم رسوب خلاء یکپارچه است که برای ترکیب چندین تکنیک ساخت فیلم نازک{{1}-از جمله کندوپاش مگنترون RF/DC، تبخیر حرارتی، و تبخیر پرتو الکترونی- در یک...مشاهده بیشتر -
![تجهیزات رسوب کامپوزیت PVD]()
تجهیزات رسوب کامپوزیت PVDتجهیزات رسوبی کامپوزیت PVD صنعتی برای ساخت فیلم نازک-چند جزئی، چند لایه و نانو-کامپوزیت طراحی شده است. این سیستم تبخیر حرارتی، تبخیر پرتو e{5}}و منابع کندوپاش مگنترون را در یک محیط خلاء یکپارچه می...مشاهده بیشتر -
![سیستم لایه نازک کامپوزیت PVD]()
سیستم لایه نازک کامپوزیت PVDسیستم پوشش صنعتی{0}}خلاء درجه یکپارچه کندوپاش مگنترون (RF/DC/HiPIMS) و تبخیر قوس کاتدی. برای رسوب لایه نازک-مستمر، چند لایه، آلیاژی و نانو-در مقیاس تولید طراحی شده است.مشاهده بیشتر -
![تجهیزات لایه نازک کامپوزیت PVD]()
تجهیزات لایه نازک کامپوزیت PVDPVD Composite Thin Film Equipment یک پلت فرم خلاء صنعتی است که برای سنتز لایه های نازک چند لایه، آلیاژی و درجه بندی شده- طراحی شده است. این سیستم که بر اساس معماری فولاد ضد زنگ مدولار 304L/316L...مشاهده بیشتر
مشخصات فنی
|
پارامتر |
محدوده مشخصات |
|
فشار خلاء نهایی |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
فشار کاری |
0.1 Pa - 5.0 Pa |
|
دمای بستر |
محیطی تا 800 درجه (کنترل شده با حلقه بسته-PID) |
|
منابع رسوب گذاری |
قابل تنظیم: کندوپاش مگنترون DC/RF، DC پالسی، قوس کاتدی فیلتر شده |
|
یکنواختی ضخامت |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
مواد اتاقک |
فولاد ضد زنگ 304L/316L، زمین مکانیکی و الکترو- پولیش شده (Ra<= 0.4 um) |
|
یکپارچه سازی منبع تغذیه |
ژنراتورهای MF (10-100 کیلوهرتز)، ژنراتورهای RF (13.56 مگاهرتز)، بایاس پالس DC |
|
سیستم کنترل |
PLC صنعتی + IPC با اجرای خودکار دستور العمل، نظارت بر قفل و ثبت داده های دسته ای |
فرآیند رسوب کامپوزیت
این سیستم از یک معماری رسوب بخار فیزیکی ترکیبی استفاده می کند که ترکیبی از کندوپاش مگنترون و فناوری های قوس کاتدی است.
هم افزایی چند منبع-:
عملکرد همزمان یا متوالی کاتدهای متعدد امکان انتقال ناگهانی یا درجه بندی شده ترکیبی در پشته فیلم را فراهم می کند.
یون اچینگ قبل از-تمیز کردن:
مراحل تمیز کردن پلاسمای RF یا DC، اکسیدهای بومی و آلایندههای سطحی را قبل از رسوب حذف میکنند تا چسبندگی پوشش-به-به حداکثر برسد.
کنترل رسوب واکنشی:
طیفسنجی انتشار نوری حلقه بسته (OES) تزریق گاز راکتیو (O2، N2، C2H2) را برای حفظ استوکیومتری ترکیب پایدار و جلوگیری از مسمومیت هدف تنظیم میکند.
بایاس بستر:
منابع تغذیه بایاس پالسی هماهنگ، فیلم در حال رشد را با یونهای انرژی{0}بالا بمباران میکند، ریزساختار را متراکم میکند و تنش فشاری باقیمانده را تنظیم میکند.
مواد فیلم
این تجهیزات طیف گسترده ای از مواد هدف را برای نیازهای عملکردی مناسب پشتیبانی می کند:
نیتریدها و کاربیدهای فلزات واسطه:
TiN، TiAlN، CrN، ZrN، TiCN برای مقاومت در برابر سایش و خوردگی.
سیستم های نانوکامپوزیت و چند لایه:
نانولایههای TiSiN، AlTiSiN، فلز/سرامیک برای سختی شدید و پایداری حرارتی{0}در دمای بالا.
اکسیدهای رسانای شفاف (TCO):
ITO، AZO، IGZO برای کاربردهای نوری و فتوولتائیک.
فلزات و آلیاژهای خالص:
Ti، Cr، Al، Cu، فولاد ضد زنگ، NiCr برای تماس الکتریکی و لایه های مانع انتشار.
برنامه های کاربردی
ابزارهای برش دقیق:
رسوب-پوششهای فوقالعاده سخت و با اصطکاک کم- (مثلاً TiAlN) روی درجهای کاربید، متهها و آسیابهای انتهایی- برای افزایش طول عمر عملیاتی تحت بارهای حرارتی بالا.
اجزای خودرو:
فیلمهای مقاوم در برابر اصطکاک-کاهش و سایش- روی رینگهای پیستون، قطعات تزریق سوخت و مجموعههای دنده.
اپتوالکترونیک و نمایشگر:
لایههای اکسید رسانا با-مقاومت کم،-بالا برای صفحات لمسی و زیرلایههای سلول خورشیدی.
تجهیزات پزشکی:
پوششهای زیست سازگار و مقاوم{0}}روی ابزارهای جراحی و ایمپلنتهای ارتوپدی.
سفارشی سازی و پیکربندی سیستم
پیکربندیهای مهندسی با محدودیتهای خاص تأسیسات تولید و دستورالعملهای فرآیند تطبیق داده میشوند:
اندازه اتاقک:
گزینههای محفظه استوانهای یا مستطیلی از سیستمهای دستهای تحقیق و توسعه (قطر ۵۰۰ میلیمتر) تا سیستمهای قفل-در مقیاس بزرگ-قفل (1000 میلیمتر).
01
انتخاب سوئیت پمپاژ:
دمندههای ریشه، پمپهای توربومولکولی و پمپهای برودتی بر اساس زمانهای پایین پمپ{0}}و پروفایل بار گاز مورد نیاز.
02
تثبیت بستر:
مراحل چرخش سیارهای سفارشیشده، ماژولهای 3-چرخش ماهوارهای یا رول{2}}برای هندسههای پیچیده سهبعدی یا شبکههای پیوسته طراحی شدهاند.
03
سطح اتوماسیون:
پیکربندیهای بار دستی نیمه خودکار یا سیستمهای انتقال خلاء کاملاً خودکار با مدیریت زیرلایه روباتیک.
04
تولید و کنترل کیفیت
تشخیص نشت:
هر محفظه خلاء تحت آزمایش نشت طیف سنج جرمی هلیوم تا آستانه < 1 x 10^-10 Pa * m^3 / s قرار می گیرد.
بازرسی جوش:
جوشهای کناری خلاء{0}}TIG جوش داده میشوند، زمین میشوند و صیقل میشوند و در صورت درخواست، بازرسی اشعه ایکس یا رنگ نافذ انجام میشود.
انطباق برق و ایمنی:
پانلهای کنترلی که مطابق با استانداردهای NFPA 79 یا CE/IEC ساخته شدهاند و دارای قفلهای سختافزاری برای جریان آب، فشار گاز و ایمنی الکتریکی هستند.
تست پذیرش کارخانه (FAT):
آزمایش قبل از ارسال شامل 72-ساعت خشک کردن مداوم-دوچرخه، تأیید عملکرد خلاء، و رسوب پوشش آزمایشی با استفاده از دستور العمل های مشخص شده توسط مشتری است.
دستورالعمل های آماده سازی سایت:سند جامع نیازمندی های تاسیسات، جزئیات رابط های ابزار (جریان/فشار آب خنک کننده، بار الکتریکی، هوای فشرده، اگزوز) را ارائه می کند.
در{0}}راه اندازی سایت:مهندسان خدمات صحرایی تراز مکانیکی، بررسی نشت خلاء، اتصالات{0}}الکتریکی و کالیبراسیون اولیه را انجام میدهند.
تنظیم دستور غذا:همکاری در سایت با متالوژیستهای مشتری و مهندسان فرآیند برای قفل کردن پارامترهای ضخامت، تنش و سختی فیلم مورد نظر.
پشتیبانی چرخه حیات:رابط تشخیص از راه دور، موجودی قطعات یدکی محلی، و برنامه های نگهداری پیشگیرانه برنامه ریزی شده.
سوالات متداول
ما بهخوبی-بهعنوان یکی از تولیدکنندگان و تامینکنندگان پیشرو تجهیزات لایه نازک کامپوزیت pvd در چین شناخته شدهایم. اگر قصد خرید تجهیزات فیلم نازک کامپوزیت pvd سفارشی ساخت چین را دارید، به دریافت لیست قیمت از کارخانه ما خوش آمدید. برای مشاوره قیمت با ما تماس بگیرید.
