PVD کامپوزیت رسوب گذاری خلاء تجهیزات

این پلت‌فرم رسوب‌گذاری خلاء کامپوزیت PVD، چندین تکنیک رسوب‌گذاری را در یک محیط محفظه واحد ادغام می‌کند تا لایه‌های نازک فلزی، آلیاژی یا دی‌الکتریک یکنواخت، چند لایه‌ای-را رسوب دهد. معماری‌های استاندارد، پردازش دسته‌ای را برای زیرلایه‌های تا 400 میلی‌متر در 400 میلی‌متر، با هندسه‌های محفظه سفارشی برای رول-به-رول کردن یا جابجایی اجزای سه‌بعدی در دسترس دارند.

ادغام چند منبع-:تبخیر حرارتی و کندوپاش مگنترون را در یک پمپ{0}}در یک چرخه پایین ترکیب می‌کند و از اکسیداسیون رابط جلوگیری می‌کند و زمان جابجایی را کاهش می‌دهد.

بسته-کنترل ضخامت حلقه:به طور مستقیم با سنسورهای میکروبالانس کریستال کوارتز (QCM) و سیستم های مانیتور نوری برای کنترل نرخ رسوب در زمان واقعی.

معماری اتاق مدولار:درگاه های فلنجی امکان تجهیز سریع منابع تبخیر اضافی یا تفنگ های یونی را بدون ماشینکاری مجدد بدنه محفظه اصلی فراهم می کنند.

قابلیت بایاس بستر:منبع تغذیه بایاس RF/DC تمیز کردن بمباران یونی را قبل از رسوب انجام می دهد و چسبندگی فیلم را روی لایه های فلزی و سرامیکی دشوار افزایش می دهد.

توالی فرآیندهای خودکار:مدیریت دستور العمل کنترل‌شده PLC، شیرهای دروازه، کنترل‌کننده‌های جریان جرمی (MFC)، افزایش قدرت و فعال‌سازی شاتر را کنترل می‌کند تا تغییرات ناشی از اپراتور را حذف کند.

زیرسیستم خلاء به گونه‌ای طراحی شده است که زمان چرخه را به حداقل برساند و بارهای خروجی از منابع مختلف را مدیریت کند:

پمپ های زبر و ریشه:پمپ‌های پیچ خشک، خطرات بازگرداندن روغن-را از بین می‌برند و الزامات کلاس 4 ایزو اتاق تمیز را برآورده می‌کنند.

پمپ‌های خلاء-بالا: Combination of magnetically levitated turbo-molecular pumps (slot speed >= 1600 L/s) و انجماد اختیاری برای ظرفیت پمپاژ آب{{1} بالا.

مانیتورینگ فشار:پیکربندی برد سنج دوگانه (سنج‌های پیرانی برای زبر کردن؛ سنج‌های یونیزاسیون/پنینگ برای خلاء زیاد) با سوپاپ‌های ایمنی قفل شده‌اند تا از آلودگی اتمسفر رشته‌ها جلوگیری کند.

تشخیص نشت:نشت هلیوم-تا آستانه کمتر از 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s قبل از پذیرش کارخانه بررسی شد.

مواد تبخیر:
فلزات:Al، Cu، Ti، کروم، نیکل، طلا، نقره، پلاتین.

آلیاژها:اهداف NiCr، TiAl، فولاد ضد زنگ.

دی الکتریک ها / اکسیدها:SiO2، TiO2، Al2O3، ITO (از طریق کندوپاش واکنشی یا ادغام پرتو الکترونی).

سازگاری بستر:
ویفرهای نیمه هادی:سیلیکون، GaAs تا 300 میلی متر.

بسترهای نوری:لنزهای شیشه ای نوری، کوارتز و یاقوت کبود.

پلاستیک مهندسی:PI، PET، PC از طریق مدیریت حرارتی دمای پایین-.

بسترهای فلزی:فویل های فلزی و قطعات فلزی مهر شده.

اپتوالکترونیک:رسوب اکسیدهای رسانای شفاف (ITO) و لایه های ضد{0}}چند انعکاسی{{1} برای پانل های لمسی و پنجره های حسگر.

الکترونیک قدرت:ایجاد تماس‌های اهمی با مقاومت پایین و لایه‌های مانع بر روی سیلیکون و زیرلایه‌های نیمه‌رسانا با شکاف پهن-.

پوشش های کاربردی:پوشش‌های فلزی مقاوم و تزئینی-بر روی بست‌های صنعتی، ایمپلنت‌های پزشکی و سخت‌افزار مصرفی.

پیکربندی تجهیزات با محدودیت های تولیدی خاص سازگار است:

اندازه اتاقک:مقیاس‌بندی شده از واحدهای رومیزی R&D (مکعب 400 میلی‌متری) تا سیستم‌های تولید{1} با ظرفیت بالا (محفظه‌های استوانه‌ای/جعبه‌ای 1200 میلی‌متری).

بارگیری{0}یکپارچه سازی قفل:پیکربندی قفل-بارگیری دستی تکی یا دو{1}}بار محفظه-برای حفظ یکپارچگی خلاء بالا در منطقه رسوب اصلی در طول چرخه‌های بارگذاری مداوم.

مدیریت حرارتی:مراحل زیرلایه خنک‌شده، گرم شده با آب (تا 600 درجه) یا جداول خنک‌کننده بستر برودتی.

رابط کنترل:ادغام با شبکه های SCADA یا MES کارخانه از طریق پروتکل های SECS/GEM یا Modbus TCP.

هر واحد قبل از حمل و نقل تحت بررسی دقیق قرار می گیرد:

تست یکپارچگی خلاء:ممیزی تشخیص نشت طیف سنج جرمی هلیوم پیوسته 48 ساعته.

تست ایمنی الکتریکی:مقاومت عایق، مقاومت دی الکتریک و تست تداوم اتصال به زمین مطابق با دستورالعمل های ایمنی CE/UL.

اجرای خشک عملکردی:دوچرخه‌سواری خودکار 72 ساعته تمام کرکره‌های مکانیکی، کنترل‌کننده‌های جریان جرمی و ژنراتورهای برق.

اجرای پذیرش فرآیند:آزمایش پذیرش کارخانه (FAT) با استفاده از مواد هدف مشخص شده توسط مشتری-برای تأیید ثبات نرخ رسوب و یکنواختی ضخامت اجرا شد.

بسته مستندات:محصولات مهندسی کامل شامل نمودارهای P&ID، شماتیک های الکتریکی، معماری منطق منبع PLC و کتابچه راهنمای تعمیر و نگهداری کاربر.

در{0}}راه اندازی سایت:مهندسان خدمات صحرایی بر نصب، اتصالات اتاق تمیز، اعتبارسنجی ابزار (آب خنک کننده، CDA، برق) و تست پذیرش سایت (SAT) نظارت می کنند.

آموزش اپراتور:دست‌های ساختاریافته-در آموزش‌های مربوط به تعمیر و نگهداری معمول، عیب‌یابی خلاء، و ویرایش دستور غذا برای مهندسان فرآیند.

در دسترس بودن قطعات یدکی:اجزای حیاتی (کیت های مهر و موم، آسترهای محافظ، رشته ها، کریستال های QCM) برای ارسال مستقیم ذخیره شده اند.