تجهیزات لایه نازک کامپوزیت PVD

PVD Composite Thin Film Equipment یک پلت فرم خلاء صنعتی است که برای سنتز لایه های نازک چند لایه، آلیاژی و درجه بندی شده- طراحی شده است. این ساختار بر اساس معماری فولاد ضد زنگ مدولار 304L/316L ساخته شده است، تا چهار منبع رسوب مستقل{4}}شامل کندوپاش مگنترون DC/RF، تبخیر پرتو الکترونی و منابع حرارتی{5}}در یک محفظه کنترل‌شده با آلودگی{6} یکپارچه می‌شود. این سیستم کنترل دقیقی بر ریزساختار فیلم، تنش پسماند و گرادیان های ترکیبی را برای خطوط تولید و تحقیق و توسعه پیشرفته فراهم می کند.

معماری چند منبع{0} مدولار:رسوب‌گذاری متوالی یا هم‌زمان را از حداکثر چهار منبع در یک چرخه خلاء انجام می‌دهد.

یکپارچگی جاروبرقی فوق{0} تمیز:برای جلوگیری از آلودگی هیدروکربنی، از فلز-فلنج های CF مهر و موم شده، دریچه های دروازه پنوماتیک و پمپاژ بدون زبری/توربومولکولی روغن- استفاده می کند.

بایاس زیرلایه دینامیکی:بایاسینگ RF/DC با فرکانس متغیر انرژی یون ورودی را برای کنترل چگالی، سختی و تنش فیلم کنترل می‌کند.

کنترل خودکار دستور غذا:PLC صنعتی و HMI حداکثر 200 نمایه فرآیند، پمپ خودکار پایین-، فعال کردن شاتر، و تهویه را ذخیره می‌کنند.

در-درگاه‌های نظارت درجا:فلنج‌های از قبل پیکربندی‌شده حسگرهای ضخامت QCM و طیف‌سنج‌های انتشار نوری (OES) را در خود جای می‌دهند.

پشته پمپاژ:پمپ‌های زبر بدون ریشه{0}}روغن/پیچ همراه با توربوپمپ‌های شناور مغناطیسی یا کرایوپمپ‌ها در عرض 45 دقیقه به 5×10^-6 Pa از اتمسفر می‌رسند.

تحویل گاز:کنترل‌کننده‌های جریان جرمی (MFC) Ar، O2 و N2 را با دقت 1% در مقیاس کامل تنظیم می‌کنند. تصفیه کننده های یکپارچه خلوص گاز 99.9999٪ را حفظ می کنند.

مدیریت حرارتی:بدنه‌های محفظه دارای کانال‌های خنک‌کننده دوجداره-آب-برای تثبیت ابعاد ساختاری در طول کارکرد{2}}در دمای بالا هستند.

نیمه هادی:لایه‌های مانع، لایه‌های بذر، و پشته‌های فلزی به هم متصل می‌شوند.

اپتیک:فیلترهای تداخل نوری، پوشش‌های ضد بازتابی (AR) و آینه‌های بازتابنده بالا.

محافظت در برابر سایش:پوشش‌های سخت چند لایه برای ابزارهای برش و اجزای هوافضا.

ذخیره انرژی:لایه‌های نازک برای الکترولیت‌های باتری حالت جامد و کلکتورهای جریان.

هندسه محفظه ای:ابعاد داخلی یا زوایای پورت را برای تناسب با سخت افزار قدیمی یا اسکله های جعبه دستکش تغییر دهید.

اقتباس منبع:رتبه‌بندی‌های خاص تفنگ e{0}}پرتو، طول مگنترون یا قایق‌های حرارتی را ادغام کنید.

یکپارچه سازی نرم افزار:منطق PLC را برای مطابقت با پروتکل های SCADA یا استانداردهای SECS/GEM پیکربندی کنید.

تشخیص نشت:آزمایش طیف‌سنج جرمی هلیوم تا 1 × 10^-10 Pa·m³/s تأیید شد.

ایمنی برق:پیوستگی زمین، مقاومت عایق، و تأیید توقف E{0}}بر اساس استانداردهای CE/NFPA.

پیش-اجرای حمل و نقل:رسوب آزمایش کارخانه فشار پایه، پایداری منبع و یکنواختی ضخامت را تأیید می کند. برگه های داده همراه با واحد ارسال می شود.

مستندات:شماتیک های الکتریکی کامل، نمودارهای P&ID، کتابچه راهنمای عملیات PLC و گواهی کالیبراسیون.

پذیرش کارخانه (FAT):بازرسی و اعتبارسنجی مشتری در طبقه تولید ما قبل از بسته بندی انجام می شود.

راه اندازی (SAT):مهندسان میدانی بر تراز مکانیکی، اتصالات ابزار، و{0}}آزمایش پذیرش در سایت نظارت می‌کنند.