تجهیزات لایه نازک PVD Multi-

سیستم PVD چند قوس صنعتی از رسوب بخار فیزیکی قوس کاتدی با یونیزاسیون بالا برای رسوب پوشش‌های سخت متراکم و استوکیومتری (مانند TiN، TiAlN، CrN، و DLC) بر روی بسترهای فلزی استفاده می‌کند. این سیستم که برای{3}}مراکز پوشش قراردادی با حجم بالا و خطوط تولید محصور طراحی شده است، مقاومت در برابر سایش، کاهش اصطکاک و پایداری حرارتی را برای اجزای دقیق بهینه می‌کند.

منابع قوس کاتدی فیلتر شده:فیلتر مغناطیسی تولید درشت ذرات (قطرات) را به حداقل می رساند و سطح صاف تری را به همراه دارد (Ra < 0.1 um).

{0}پیکربندی مگنترون نامتعادل میدان بسته: Enhances substrate-zone plasma density, achieving film adhesion scratch-test critical load Lc >= 80 N.

تنظیم جریان گاز دوگانه{{0}:کنترل بازخورد حلقه بسته -با استفاده از مانومترهای خازنی و{1}MFCهای با دقت بالا برای گازهای راکتیو (N2، C2H2، O2).

منابع رسوب مدولار:طرح‌بندی‌های مسطح و استوانه‌ای قابل تعویض، سوئیچینگ سریع هدف را برای معماری‌های چندلایه- ممکن می‌سازد.

پمپ زبر:پره چرخشی یا پشتی مکانیکی پیچ خشک برای از بین بردن جریان برگشتی روغن.

پمپ خلاء بالا: Magnetic levitation turbo molecular pump (>= 3200 L/s) با یک دمنده ریشه جفت شده است.

آب بندی و شیرآلات:شیرهای دروازه پنوماتیک، فلنجهای ISO{0}F/CF با واشرهای ویتون/فلزی؛ نرخ نشت طیف سنج جرمی هلیوم < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

مانیتورینگ فشار:یونیزاسیون سنج پیرانی و کاتد سرد.

اهداف استاندارد کاتد:Ti, Al, Cr, TiAl, Zr, Cu, Graphite (purity >= 99.95%).

مواد بستر:کاربیدهای سیمانی (WC{0}}Co)، HSS، فولادهای آلیاژی (SKD11، 40Cr)، آلیاژهای تیتانیوم (Ti-6Al-4V) و فولاد ضد زنگ (304، 316L).

قبل از-درمان:برای از بین بردن اکسیدهای سطحی قبل از رسوب، به چربی‌زدایی اولتراسونیک و اچ کردن یون پلاسما آرگون درجا (بمباران Ar+) نیاز دارد.

ابزار برش و شکل دهی:آسیاب‌های انتهایی، برش‌های هوبینگ، و درج‌هایی که با TiAlN/TiN پوشانده شده‌اند تا عمر ابزار را تا 200% - 400% در ماشین‌کاری خشک افزایش دهند.

اجزای خودرو:رینگ‌های پیستون، پین‌های انژکتور و شیرهای با پوشش CrN/DLC برای کاهش اصطکاک و خراش‌های مرزی پوشیده شده‌اند.

تجهیزات پزشکی:پیچ های ارتوپدی، تیغه های جراحی و اباتمنت های دندانی با استفاده از TiN/ZrN برای زیست سازگاری و مقاومت در برابر خوردگی.

سخت افزار صنعتی:Mold cavities and precision gears requiring high surface hardness (>3000 HV).

اندازه اتاقک:قطر داخلی و پروفیل‌های ارتفاع متناسب با حجم‌های دسته‌ای خاص یا قطعات کار بزرگ‌تر.

طرح کاتد:4 تا 12 شکاف منبع قوس قابل تنظیم به طور متقارن برای اطمینان از توزیع ضخامت در +/- 8%.

ادغام سوگیری:ادغام ترکیبی ترکیبی-پالسی مگنترون پالسی پرقدرت (HPPMS) در کنار منابع قوس کاتدی استاندارد.

اتوماسیون:ادغام با بازوهای بارگیری خودکار و سیستم های اجرایی ساخت SCADA.

بازرسی مواد:Spectrographic analysis verifying raw target metallic purity (>= 99.95%).

تست سازه:بررسی ابعادی CMM محفظه ها و آزمایش فشار هیدرواستاتیک کانال های خنک کننده.

تست پذیرش کارخانه (FAT):تست اجرای خشک مداوم 72-ساعته- که چرخش مکانیکی، منحنی‌های پمپاژ پایین و پایداری حرارتی را پوشش می‌دهد.

تایید پوشش:کوپن‌های آزمایشی از طریق پین-روی-آزمایش سایش دیسک، تورفتگی راکول و تجزیه و تحلیل ضخامت مقطع{2}}FESEM ارزیابی می‌شوند.

آماده سازی سایت:مستندات مهندسی دقیق برای محدودیت های بار کف، نرخ جریان آب خنک کننده، و الزامات شینه الکتریکی.

راه اندازی:نصب-در سایت، کالیبراسیون خلاء، و تحویل دستور فرآیند اولیه توسط مهندسان میدانی.

آموزش اپراتور:برنامه های ساختاریافته ای که تعمیر و نگهداری معمول، جایگزینی هدف، شکار نشت و عیب یابی اولیه PLC را پوشش می دهند.

پشتیبانی چرخه حیات:ادغام رابط تشخیصی از راه دور برای ثبت پارامترهای زمان واقعی-و جداسازی سریع خطا.