سیستم رسوب یون چند قوس

سیستم رسوب یون چند قوس

جزئیات
The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >یونیزاسیون 80 درصدی مواد کاتد جامد، بمباران یونی با انرژی بالا به سطح مشترک بستر برای چسبندگی فیلم برتر در مقایسه با کندوپاش مگنترون.
طبقه بندی محصول
تجهیزات لایه نازک چند قوس یونی
 
ارسال درخواست
شرح
پارامترهای فنی

The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >یونیزاسیون 80 درصدی مواد کاتد جامد، بمباران یونی با انرژی بالا به سطح مشترک بستر برای چسبندگی فیلم برتر در مقایسه با کندوپاش مگنترون.


محفظه خلاء فولادی دوجداره-زنگ‌زنگ-منابع قوس مدولار و یک پمپ مدیریت چرخه خودکار کنترل‌شده PLC-در پایین، در{4}}اچ پلاسما درجا، تحویل گاز راکتیو، و رسوب چند لایه{{5} را در خود جای داده است.

 

مشخصات فنی

 

پارامتر

مشخصات

اندازه اتاقک

قطر داخلی سفارشی (Phi 800 mm - Phi 1500 mm)

مواد کشتی

دو جداره-SUS304 / SUS316L با کانال های خنک کننده داخلی

فشار پایه

<= 5.0 x 10^-3 Pa (dry-pumped)

پمپ-زمان خاموشی

اتمسفر تا 6.0 x 10^-2 Pa in<= 15 minutes (clean, empty)

کاتدهای قوس

4 تا 12 منبع مستطیلی یا مدور

منابع تغذیه

قوس DC (0-200 A) و بایاس پالس (0-3000 V)

چرخش بستر

چرخش چند محوری-سیاره‌ای/تک- از طریق جریان سیال مغناطیسی

سیستم کنترل

زیمنس S7-1500 PLC + IPC با دستور العمل های خودکار

الزامات ابزار

آب سرد (18-25 درجه سانتیگراد، 0.2-0.4 مگاپاسکال)؛ هوای فشرده (0.5-0.7 مگاپاسکال)

 

ویژگی های کلیدی


نرخ یونیزاسیون بالا:لایه لایه شدن فیلم را از طریق بمباران یونی متراکم به حداقل می رساند.


پایداری قوس کنترل شده:محرک‌های قابل برنامه‌ریزی و تنظیم جریان حلقه بسته، تشکیل ذرات بزرگ (قطرات) را سرکوب می‌کنند و از مسمومیت هدف تحت گازهای راکتیو (N2، C2H2، O2) جلوگیری می‌کنند.


منابع قوس مدولار:مکان‌های کناری و درب برای توزیع ضخامت یکنواخت با هندسه‌های پیچیده ابزار سه بعدی سازگار هستند.


بایاس بستر پالسی:پالس های ولتاژ همگام تنش پسماند، پالایش دانه و ریزسختی را تنظیم می کنند.


مراحل چرخش سنگین-وسایل سیاره ای از بارهای دسته ای تا 500 کیلوگرم تحت بارهای حرارتی و خلاء بالا پشتیبانی می کنند.

 

پیکربندی سیستم خلاء


خشن کردن و ریشه ها:پمپ‌های پیچ خشک چند مرحله‌ای همراه با دمنده‌های Roots از آلودگی هیدروکربنی تا فشارهای انتقالی جلوگیری می‌کنند.


خلاء بالا:پمپ‌های توربومولکولی یا دیفیوژن فشار پایه فوق‌العاده{{0} بالا را حفظ می‌کنند.


تله گذاری و سنجش:تله سرد نیتروژن مایع اختیاری؛ گیج‌های ترکیبی -پیرانی/کتد سرد با برد وسیع.

 

سازگاری مواد تبخیر و بستر


اهداف کاتدی:فلزات خالص (Ti، Cr، Al، Zr، Mo، W) و اهداف آلیاژی (TiAl، TiSi، CrAl، WC-Co).


مواد بستر:فولاد سریع-(HSS)، درج های کاربید، فولادهای ابزار کار سرد/گرم (SKD11، H13)، فولاد ضد زنگ و آلیاژهای تیتانیوم.


قبل از-درمان:تمیز کردن اولتراسونیک آبی و به دنبال آن -درجا Ar+ یا حکاکی با بمباران یون فلزی برای حذف اکسیدهای بومی.

 

برنامه های کاربردی


ابزار برش:TiN, TiAlN, and AlCrN coatings on end mills and drills to achieve >سختی سطح 3000 HV و مقاومت در برابر اکسیداسیون.


قالب ها و قالب ها:لایه های محافظ روی قالب های تزریق و قالب های مهر زنی برای جلوگیری از ساییدگی و سایش.


خودرو:پوشش های DLC و CrN روی رینگ های پیستون، چرخ دنده ها و پین های انژکتور برای کاهش ضریب اصطکاک.


تجهیزات پزشکی:پوشش های زیست سازگار TiN/TiCN روی ابزارهای جراحی و ایمپلنت ها.

 

گزینه های سفارشی سازی


ابعاد اتاق و چیدمان بندر:پورت های نظارت بر انتشار نوری و حجم مناسب (OEM).


ژنراتورها:مارک‌های منبع تغذیه مشخص شده توسط مشتری یا پیکربندی‌های بایاس پالس{1} تخصصی.


فیلتراسیون:میدان‌های فرمان مغناطیسی و فیلترهای ذرات بزرگ برای پرداخت‌های اپتیکال/الکترونیکی صفر{0} قطره.


اتوماسیون:ادغام SCADA و اتصال پایگاه داده SQL برای ثبت داده های Industry 4.0.

 

کنترل کیفیت و تست پذیرش کارخانه


تست نشتی:آزمایش طیف‌سنج جرمی هلیوم بر روی تمام جوش‌ها (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m3/s).


ایمنی برق:مقاومت عایق، اتصال به زمین و تأیید قفل اینترلاک بر اساس استانداردهای CE/NFPA.


اجرای خشک عملکردی:تست چرخه مکانیکی و سوپاپ پیوسته 72 ساعته.


تأیید فرآیند:تست کوپن مرجع برای سختی نانو فرورفتگی و چسبندگی خراش.

 

نصب و پشتیبانی


پیش-نصب:طرح‌های طرح‌بندی ابزار برای برق، آب، اگزوز و هوای فشرده ارائه شده است.


راه اندازی:راه‌اندازی و آزمایشی در سایت با نظارت مهندسان کارخانه انجام می‌شود.


آموزش:کارها، تعویض کاتد، و آموزش تعمیر و نگهداری معمول-.


مراقبت از چرخه زندگی:ایمن تشخیص از راه دور VPN و تامین قطعات یدکی محلی.

 

سوالات متداول

 

س: چگونه ذرات درشت (قطرات) در طی رسوب گذاری قوس کاتدی کنترل می شوند؟

A: کاهش متکی به جریان‌های قوس بهینه، فرمان مغناطیسی با سرعت بالا، و فیلترهای ماکرو ذرات مغناطیسی اختیاری برای نیازهای سطح فوق‌العاده-صاف است.

س: نرخ استفاده از هدف کاتد معمولی چقدر است؟

A: محدوده استفاده بین 55٪ و 70٪ بر اساس پروفایل های فرسایش کاتدی و تنظیمات میدان مغناطیسی است.

س: آیا سیستم می‌تواند رسوب گاز راکتیو را برای فیلم‌های چند عنصری مانند TiAlN مدیریت کند؟

ج: بله. کنترل‌کننده‌های جریان جرمی (MFC) از انتشار نوری یا بازخورد فشار جزئی برای تثبیت جریان‌های راکتیو (N2، CH4) و حفظ ترکیب استوکیومتری استفاده می‌کنند.

س: نیازهای برق چیست؟

A: سیستم های استاندارد به برق 3 فاز (380V-480V، 50/60 هرتز) با ظرفیت بار کل بسته به مقدار کاتد از 60 کیلو ولت آمپر تا 150 کیلو ولت آمپر نیاز دارند.

 

تگ های محبوب: سیستم رسوب یونی چند قوس

ارسال درخواست
با ما تماس بگیریداگر سوالی دارید

شما می توانید از طریق تلفن، ایمیل یا فرم آنلاین زیر با ما تماس بگیرید. متخصص ما به زودی با شما تماس خواهد گرفت.

اکنون تماس بگیرید!