چند{0}}تجهیزات رسوب دهی خلاء قوس

این سیستم رسوب‌گذاری خلاء چند قوسی از فناوری آبکاری یونی قوس کاتدی برای رسوب دادن پوشش‌های سخت متراکم-با چسبندگی بالا بر روی زیرلایه‌های فلزی و غیرفلزی استفاده می‌کند. با ضربه زدن به یک قوس کم-ولتاژ،- جریان بالا بر روی اهداف کاتدی جامد، مواد فوراً در یک محیط خلاء تبخیر و یونیزه می‌شوند. یون های فلزی که توسط ولتاژ بایاس منفی شتاب می گیرند، با گازهای واکنش پذیر (N2، C2H2، O2) واکنش داده و لایه های ترکیبی استوکیومتری را تشکیل می دهند.

این سیستم که برای اتاق‌های ابزار صنعتی، سازندگان قطعات خودرو و دفاتر خدمات پوشش مستقل طراحی شده است، سختی فیلم، ضرایب اصطکاک کم و مقاومت در برابر اکسیداسیون را ارائه می‌کند. هر دستگاه بر اساس توان عملیاتی دسته ای، هندسه بستر و معماری پوشش هدف (تک لایه، چند لایه یا گرادیان) پیکربندی می شود.

منابع قوس میدان مغناطیسی پیشرفته:کاتدها از سیم پیچ‌های دائمی و الکترومغناطیسی بهینه‌سازی شده برای هدایت مسیرهای نقطه قوس الکتریکی استفاده می‌کنند که بازده استفاده از هدف را به بیش از 55 درصد افزایش می‌دهد و انتشار قطرات را کاهش می‌دهد.

-کنترل جریان گاز حلقه بسته:کنترل‌کننده‌های جریان جرمی (MFC) فشارهای جزئی گاز را در زمان واقعی-تنظیم می‌کنند و استوکیومتری دقیق را برای پوشش‌های ترکیبی پیچیده مانند TiAlN و AlCrN حفظ می‌کنند.

مکانیسم چرخش بستر سیاره ای:درایو چرخش چند محوره توزیع یکنواخت ضخامت فیلم (تحمل در ± 5٪) را در اجزای پیچیده سه بعدی و ابزارهای برش تضمین می کند.

قابلیت اچ کردن یون در محل-:تمیز کردن تخلیه درخشنده یکپارچه و حکاکی یون فلزی، اکسیدهای بومی را قبل از رسوب حذف می کند و از اتصال رابط مقاوم در برابر خراش- اطمینان حاصل می کند.

معماری مدولار برق:بلوک های ترمینال استاندارد و پاور رک های ماژولار ایزوله تشخیص میدانی را ساده کرده و میانگین زمان تعمیر (MTTR) را به حداقل می رساند.

لایه نازک-به یکپارچگی خلاء پایه و دینامیک مدیریت گاز متکی است که از طریق یک پشته پمپاژ مرحله‌ای اجرا می‌شود:

مرحله خشن و متوسط:پمپ‌های مکانیکی پره‌ای دوار مستقیم{0}} همراه با دمنده‌های ریشه، محفظه را از فشار اتمسفر به محدوده انتقال (10^-1 Pa) تخلیه می‌کنند.

مرحله خلاء بالا:پمپ‌های مولکولی توربو{0} (یا پمپ‌های انتشار روغن مجهز به تله‌های سرد نیتروژن مایع) به فشار پایه نهایی زیر 5.0 × 10^-4 Pa دست می‌یابند و بخار آب باقیمانده و آلودگی اکسیژن را از بین می‌برند.

آب بندی و مونتاژ شیر:دریچه‌های پنوماتیکی-دریچه خلاء بالا، فلنج‌های الاستومری/فلزی-درزبندی شده (ISO/CF) و نشت هلیوم-جوش‌های تست شده (< 1.0 × 10^-10 Pa·m3/s) prevent atmospheric outgassing during long coating cycles.

مواد هدف
فلزات خالص:Ti، Cr، Al، Zr، Cu، Mo، فولاد ضد زنگ

آلیاژها:TiAl، CrAl، SiAl، WC-شرکت

مواد بستر
فولادهای ابزار:H13، M2، D2،-فولاد پرسرعت (HSS)

کاربیدهای سیمانی:WC{0}}درج و آسیاب انتهایی شرکت

فلزات سازه ای:آلیاژهای تیتانیوم، فولاد ضد زنگ، برنج و آلومینیوم (نیاز به پروتکل‌های رسوب{0}در دمای پایین)

ابزار برش و شکل دهی:رسوب قلع، TiAlN، و AlCrN در آسیاب های انتهایی، مته ها، برش های حباب و قالب های مهر زنی برای افزایش سختی سطح تا 3000 HV و افزایش عمر ابزار 3x-5x.

اجزای خودرو:پوشش‌های اصطکاک پایین (DLC یا CrN) روی رینگ‌های پیستون، پین‌های تزریق سوخت و شمش‌ها برای کاهش سایش مکانیکی و تلفات نیروی انگلی اعمال می‌شوند.

سخت افزار و لوازم بهداشتی:Decorative, wear-resistant hard gold, rose gold, black (TiCN, ZrN), and stainless steel tones applied to architectural door hardware and bathroom fixtures with proven salt spray corrosion resistance (>240 ساعت).

هندسه محفظه ای:تنظیمات بارگیری عمودی ({0}}نصب شده یا روی زمین-ایستاده) یا جلوی افقی-.

ادغام رسوب هیبریدی:منابع قوس کاتدی را با-کاتدهای کندوپاش مگنترون ضربه ای بالا (HIPIMS) یا کندوپاش مگنترون نامتعادل (UBM) در یک محفظه واحد برای لایه های عملکردی ترکیبی ترکیب کنید.

رابط اتوماسیون:ادغام نرم افزار SCADA سفارشی با MES (سیستم اجرای تولید) کارخانه برای ردیابی دسته ای از راه دور و بارگیری خودکار دست دادن ربات.

سازگاری های کاربردی:تنظیمات دمای/فشار آب خنک‌کننده خاص کارخانه و انطباق با ولتاژ شبکه برق محلی (مثلاً 380V/480V، 50Hz/60Hz، 3 فاز).

تشخیص نشت خلاء:آزمایش نشت طیف‌سنج جرمی هلیوم بر روی تمام بدنه‌های محفظه، درزهای جوش و منیفولدهای شیر انجام شد.

ممیزی ایمنی برق:مقاومت عایق، تداوم اتصال به زمین، و{0}}آزمایش با پتانسیل بالا (هیپوت) مطابق با هنجارهای الکتریکی CE/UL انجام شده است.

اجرای خشک عملکردی:تست چرخه مداوم 72 ساعته درایوهای چرخش مکانیکی، شیرهای پنوماتیکی و عناصر گرمایشی بدون احتراق هدف.

تأیید رسوب نمونه:اجرای آزمایشی پوشش با استفاده از بسترهای ارائه شده مشتری انجام شد. نمونه‌ها از طریق آزمایش توپی-(چسبندگی) و Calotest/XRR (اندازه‌گیری ضخامت فیلم) ارزیابی شدند.

پیش{0}راهنمای نصب:نقشه های دقیق پایه و چیدمان ابزار، مشخصات بارگذاری کف، نرخ جریان آب خنک کننده (m3/h)، الزامات مجرای اگزوز، و اندازه شینه های الکتریکی را ارائه می کند.

در{0}}راه اندازی سایت:مهندسان میدانی برای تراز مکانیکی، بررسی نشت خلاء، اتصال الکتریکی، تنظیم دستور اولیه فرآیند و آموزش اپراتور اعزام شدند.

بسته مستندات:تحویل کامل شامل شماتیک های الکتریکی، خلاصه های منطقی منبع PLC، کتابچه راهنمای اجزای خلاء، درختان عیب یابی تعمیر و نگهداری و برنامه های تعویض مواد مصرفی است.

پشتیبانی تشخیص از راه دور:ادغام روتر{0}}ایمن VPN به مهندسان فرآیند اجازه می‌دهد تا برای تشخیص پارامترهای{1} زمان واقعی و به‌روزرسانی‌های نرم‌افزار وارد رابط HMI شوند.

موجودی قطعات یدکی:ذخیره اختصاصی اقلام جایگزین حیاتی (هدف کاتدی، عایق ها، آب بندی دریچه ها) برای ارسال سریع برای به حداقل رساندن خرابی خط نگهداری می شود.