سیستم لایه نازک چند-قوس یونی

سیستم لایه نازک چند قوس یونی چند{0}}از تبخیر قوس کاتدی استفاده می‌کند تا پوشش‌های سرامیکی و فلزی متراکم- با چسبندگی بالا بر روی زیرلایه‌های فلزی و آلیاژی رسوب کند. با تبخیر مواد کاتدی جامد در محیط خلاء از طریق قوس الکتریکی با جریان بالا و ولتاژ پایین، سیستم بخار فلز را که با گازهای فعال (مانند نیتروژن، استیلن یا اکسیژن) در تعامل است یونیزه می‌کند تا لایه‌های ترکیبی استوکیومتری را تشکیل دهد.

این پلتفرم که برای محیط‌های تولید مداوم طراحی شده است، وسایل ابزار اختصاصی را برای پردازش دسته‌ای ابزارهای برش دقیق، اجزای خودرو، و سخت‌افزارهای صنعتی مقاوم در برابر سایش در خود جای می‌دهد.

کاتدهای مغناطیسی{0}}قوس فرمان:میدان‌های مغناطیسی حلقه بسته، مسیر نقطه قوس کاتدی را در سراسر سطح هدف هدایت می‌کند، نرخ بهره‌برداری هدف را به بیش از 60 درصد افزایش می‌دهد و تولید قطرات ماکرو- را کاهش می‌دهد.

سوگیری سرکوب سریع قوس:منابع بایاس پالسی فرکانس بالا دارای مدارهای خاموش کننده قوس سریع-برای جلوگیری از آسیب رساندن قوس‌های ریز{2} به سطوح زیرلایه در طول رسوب واکنشی هستند.

معماری رسوب‌گذاری دوگانه-حالت:معماری سیستم از ادغام سریع کاتدهای کندوپاش مگنترون نامتعادل (UMS) در کنار منابع استاندارد قوس برای رسوب لایه هیبریدی (مثلاً لایه های گرادیان) پشتیبانی می کند.

کنترل خودکار فرآیند:PLC با نرم افزار کنترل مبتنی بر دستور العمل{0}}رایانه رایانه صنعتی، فشار محفظه ضبط، نرخ جریان جرم گاز (MFC)، بایاس بستر و جریان قوس در زمان واقعی برای قابلیت ردیابی دسته ای جفت شده است.

شیر خلاء پنوماتیک:دریچه های دروازه ای و شیرهای زاویه ای که به صورت پنوماتیکی فعال می شوند، بخش های محفظه را ایزوله می کنند و زمان خرابی تعمیر و نگهداری و چرخه های پایین پمپ{0}}را به حداقل می رساند.

تخلیه سیستم از یک پیکربندی چند مرحله‌ای استفاده می‌کند که برای رسیدن به فشار عملیاتی در عرض 15 دقیقه طراحی شده است:

مرحله خشن کردن:پمپ‌های مکانیکی پره‌ای دو مرحله‌ای دو مرحله‌ای هوای اولیه اتمسفر را تا 10 Pa حذف می‌کنند.

مرحله میانی:دمنده های ریشه، جابجایی حجمی را تسریع می کنند تا محدوده فشار متقاطع را پر کنند.

مرحله خلاء بالا:پمپ های انتشار روغن یا پمپ های برودتی/مولکولی فشار پایه نهایی 5.0 x 10^-3 Pa را قبل از پر کردن گاز و تمیز کردن یونی به دست می آورند.

زیرسیستم تحویل گاز:کنترل‌کننده‌های چند کاناله (MFC) گازهای فرآیند با خلوص بالا{{1} (Ar، N2، C2H2، O2) با تحمل پایداری جریان +/- 1٪ در مقیاس کامل.

اهداف کاتدی
اهداف فلزی:Ti، Cr، Al، Zr، TiAl (50/50، 67/33 نسبت اتمی)، WC، فولاد ضد زنگ.

استاندارد خلوص:>= 99.99% خلاء ذوب و نورد شد.

مواد بستر
فولادهای ابزار:H13، SKD11، M2، D2 (پیش‌{4}}درمان شده و تحت دمای رسوب پوشش قرار گرفته‌اند).

کاربیدها:کاربیدهای تنگستن سیمانی (WC-Co).

آلیاژهای مهندسی:آلیاژهای تیتانیوم (TC4)، فولاد ضد زنگ (304/316) و آلیاژهای مس (وابسته به فیکسچر).

ابزارهای برش دقیق:رسوب پوشش‌های TiAlN و AlCrN روی آسیاب‌های انتهایی کاربید تنگستن سیمانی و اجاق‌های حرارتی به سختی سطحی 3300 - 3500 HV دست می‌یابد. داده های صحت سنجی میدانی افزایش 2.5 برابری عمر سایش ابزار را در شرایط ماشینکاری خشک با سرعت بالا نشان می دهد.

قالب ها و قالب ها:سخت شدن سطح قالب‌های تزریق پلاستیک H13 و SKD11 و قالب‌های مهر زنی برای جلوگیری از خستگی حرارتی، سایش چسب و گند زدگی.

اجزای خودرو:پوشش‌های DLC (الماس-مثل کربن) و CrN با اصطکاک کم،-مقاوم به رینگ‌های پیستون، پین‌های انژکتور سوخت و بالابر سوپاپ‌ها برای کاهش ضرایب اصطکاک مرزی زیر 0.1 اعمال می‌شوند.

سخت افزار عملکردی:روکش‌های تزئینی و در عین حال مقاوم در برابر سایش (TiCN، ZrN) برای اتصالات بهداشتی صنعتی و اجزای مکانیکی پیشرفته-.

پیکربندی‌های مهندسی با محدودیت‌های تأسیسات و هندسه اجزا تطبیق می‌دهند:

هندسه محفظه ای:گودال عمودی-نوع بارگیری یا جلوی افقی-پیکربندی درب بارگیری.

وسایل جیگینگ:دستگاه‌های ماهواره‌ای سیاره‌ای، تک چرخشی- یا سفارشی‌سازی‌شده برای هندسه‌های پیچیده سه‌بعدی قطعه کار.

انتخاب پشته پمپاژ:گزینه‌های پیکربندی برای بسته‌های انتشار روغن، توربومولکولی یا پمپ سرمایی بسته به استانداردهای اتاق تمیز و اهداف زمان پایان پمپ{0}}.

یکپارچه سازی گاز و برق:ترانسفورماتورهای الکتریکی سفارشی برای استانداردهای شبکه منطقه ای (به عنوان مثال، 480V/60Hz، 415V/50Hz) و یکپارچه سازی با مشتری{6}}سیستم های شستشوی متمرکز اگزوز سمت کاربر.

هر سیستم رسوب گذاری قبل از ارسال تحت بررسی کیفیت دقیق قرار می گیرد:

تشخیص نشت هلیوم:تست نشت هلیوم طیف سنج جرمی بر روی تمام محفظه های خلاء و درزهای جوش انجام شد (نرخ نشت<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s).

تایید ایمنی الکتریکی:مقاومت عایق، تداوم اتصال به زمین و آزمایش‌های مقاومت{0}}دی الکتریک ولتاژ بالا مطابق با استانداردهای الکتریکی CE/IEC.

اجرای خشک عملکردی:چرخه خشک مداوم 72 ساعته مکانیسم های چرخش مکانیکی، شیرهای پنوماتیک و سنسورهای اینترلاک آب خنک کننده.

آزمون پذیرش فرآیند:اجرای پوشش نمونه در مرکز تولید برای تأیید یکنواختی ضخامت فیلم، سختی و چسبندگی (آزمایش خراش / فرورفتگی راکول).

دستورالعمل های آماده سازی سایت:مستندات جامع چیدمان تاسیسات که جزئیات الزامات بارگذاری کف، مکان مجرای اگزوز، ابعاد منیفولد آب و نقاط ریزش الکتریکی را شرح می دهد که 4 هفته قبل از حمل و نقل تحویل داده شده است.

راه اندازی:در سایت-نصب، کالیبراسیون خلاء، و اتصال برق- توسط مهندسان خدمات صحرایی انجام شده است.

تحویل دستور غذا:دستور العمل های پوشش پایه (TiN، TiAlN) در طول پذیرش کارخانه یا در{0}}راه اندازی سایت توسعه، آزمایش و انتقال داده شدند.

لوازم یدکی و عیب یابی:ماژول تشخیص از راه دور که برای عیب یابی سریع در PLC ادغام شده است، با پشتیبانی محلی از مهر و موم های مهم، اهداف کاتدی و صفحات محافظ پشتیبانی می شود.