تجهیزات رسوب دهی تبخیر قوس

پلت فرم رسوب بخار فیزیکی صنعتی (PVD) برای سنتز{0}}روش های سخت متراکم، مقاوم در برابر سایش و عملکردی با سرعت بالا مهندسی شده است. تداوم تخلیه قوس کاتدی با-جریان بالا،-ولتاژ پایین بر روی سطوح هدف جامد، جریان پلاسمای یونیزه شده 80 تا 100 درصد ایجاد می‌کند.

این انرژی جنبشی بالا همراه با بایاسینگ زیرلایه منفی قابل برنامه‌ریزی، اختلاط سطحی{0} اتمی را ایجاد می‌کند، چسبندگی فیلم برتر و تخلخل ستونی صفر را ایجاد می‌کند. معماری محفظه از پیکربندی‌های چند کاتدی مدولار برای رسوب خودکار لایه‌های تک لایه، چند لایه نانو-و پوشش‌های گرادیان استوکیومتری (TiN، TiAlN، CrN، TiCN) پشتیبانی می‌کند.

نرخ یونیزاسیون بالا:تبخیر کاتدی مستقیم، شار فلزی را به یون‌های با چگالی بالا تبدیل می‌کند و ساختارهای دانه‌ای متراکم و بدون حفره‌های میکرو- را ایجاد می‌کند.

فرمان مغناطیسی فعال:سیم‌پیچ‌های الکترومغناطیسی قابل برنامه‌ریزی، نقطه قوس را در سطوح هدف جارو می‌کنند، دهانه‌های موضعی را سرکوب می‌کنند و استفاده از مواد هدف را بیش از 60 درصد هدایت می‌کنند.

کنترل دینامیک گاز:کنترل‌کننده‌های جریان جرمی حلقه بسته (MFC) تزریق گاز راکتیو (N2، O2، C2H2) را از طریق بازخورد فشار جزئی زمان واقعی تنظیم می‌کنند.

هم افزایی چند منبع-:دیوارهای محفظه دارای طرح‌بندی‌های هدف ترکیبی هستند که اجازه می‌دهند بدون وقفه لایه‌های سرامیکی چند جزئی در یک چرخه خلاء رسوب کنند.

گروه زبر و ریشه:مستقیم-پمپ پره ای دوار درایو جفت شده با یک دمنده ریشه با جابجایی بالا-برای تحمل بارهای گاز بالا در طول پردازش واکنشی.

مرحله خلاء بالا:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 L/s) از طریق یک دریچه پنوماتیکی با رسانایی بالا کوپل شده است.

ابزار دقیق خلاء:گیج دوگانه پیرانی و کاتد سرد به هم پیوسته- نظارت بر فشار کل از اتمسفر تا 10^-6 Pa.

یکپارچگی نشت:فلنج‌های الاستومری-درزبندی شده با آب-خنک‌کننده ژاکت‌شده، نرخ نشت سیستم را زیر 1.0 x 10^-9 Pa*m3/s حفظ می‌کنند.

مواد هدف کاتدی
فلزات و آلیاژهای انتقالی:تیتانیوم (Ti)، کروم (Cr)، زیرکونیوم (Zr)، آلومینیوم (Al)، تیتانیوم-آلومینیوم (TiAl 50/50، 33/67)، تنگستن (W).

غیر فلزی-:گرافیت{0}}با خلوص بالا (C) برای الماس-مثل کربن (DLC) و لایه‌های کاربید.

بسترهای صنعتی
فولادهای ابزار و کاربیدها:فولاد با سرعت بالا (HSS)، کاربیدهای سیمانی (WC-شرکت).

آلیاژهای ساختاری:فولادهای زنگ نزن آستنیتی/مارتنزیتی، آلیاژهای تیتانیوم (TC4)، سوپرآلیاژهای مبتنی بر نیکل- (Inconel).

ابزارهای برش دقیق:رسوب TiAlN و AlTiN بر روی مته‌ها، آسیاب‌های انتهایی و صفحه‌های دنده برای افزایش سختی سطح به 3300-3500 HV و افزایش مقاومت در برابر اکسیداسیون حرارتی تا 800 درجه.

مهندسی خودرو:پوشش‌های مقاوم در برابر اصطکاک-و{1}}روکش‌های پاشش سوخت، رینگ‌های پیستون و شمع‌ها.

قالب ها و قالب ها:رسوب نیترید کروم (CrN) روی قالب های تزریق پلاستیک برای جلوگیری از سایش چسب، جوشکاری میکرو{0}}و چسبندگی رزین.

اندازه اتاقک:اصلاحات هندسی که برای پانل‌های معماری بزرگ یا چرخ و فلک‌های ابزار کوچک با کارایی بالا- طراحی شده است.

هیبریداسیون منبع:ادغام منابع قوس کاتدی با کندوپاش مگنترون نامتعادل (UBM) یا کاتدهای HiPIMS در یک بدنه یکپارچه.

رابط های اتوماسیون:ادغام کارخانه MES از طریق پروتکل‌های OPC-UA در کنار گزینه‌های دریچه بارگیری خودکار.

تایید نشت هلیوم:بررسی نشت طیف‌سنج جرمی بر روی تمام جوش‌ها و آب‌بندی‌های خلاء انجام شد.

ممیزی ایمنی برق:آزمایش عایق هیپات، بررسی تداوم اتصال به زمین و تأیید حلقه مدار E-.

72-ساعت سوزاندن تست:چرخه مداوم خشک-درایوهای چرخش مکانیکی، سوئیچ‌های جریان آب، و توالی شیرهای PLC قبل از جداسازی قطعات.

تست پذیرش کارخانه (FAT):برای اعتبارسنجی سطوح خلاء پایه، پایداری احتراق قوس، و توزیع ضخامت خط پایه در کوپن‌های کالیبراسیون در سایت- انجام شد.

واگذاری نیازمندی تسهیلات:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 مگاپاسکال، 15-25 درجه)، استخراج اگزوز، و افت منبع تغذیه (3 فاز، 380V/480V).

راه اندازی میدانی:نظارت در سایت توسط مهندسان میدان مکانیک و برق که تراز، اتصال، و دسته آزمایشی را پوشش می‌دهند.

آموزش اپراتور:دستورالعمل های ساخت یافته در مورد پیکربندی دستور العمل نرم افزار، روش های تعویض هدف کاتد، و نگهداری پیشگیرانه خلاء.

تشخیص از راه دور:دروازه VPN صنعتی ایمن تعبیه شده در کنترل پنل برای پشتیبانی از تله متری نرم افزار و عیب یابی.