تجهیزات لایه نازک تبخیر قوس

این سیستم تبخیر قوس کاتدی، اهداف کاتدی جامد را از طریق یک قوس الکتریکی با جریان کم-ولتاژ- تبخیر می‌کند تا پلاسمای فلزی کاملاً یونیزه شده تولید کند. در مقایسه با تبخیر حرارتی استاندارد یا کندوپاش مگنترون، این فرآیند PVD چگالی پلاسما بالاتر و لایه‌ای برتر{3}}به{4}}چسبندگی زیرلایه ارائه می‌کند که برای پوشش‌های سخت کاربردی، مقاوم در برابر سایش و تزئینی طراحی شده است.

منابع فیلتر مغناطیسی:مجراهای مغناطیسی داخلی ریز قطرات متحد شده را از شار بخار منحرف می کنند و زبری سطح پایین (Ra) را برای قطعات دقیق تضمین می کنند.

کنترل سوگیری حلقه بسته{{0}: Synchronized pulsed bias regulation manages ion bombardment energy dynamically, relieving residual internal stress in thick ceramic coatings (>10 ام).

نرخ یونیزاسیون بالا:راندمان یونیزاسیون پلاسما به 40٪ - 80٪ می رسد، ایجاد پیوندهای شیمیایی متراکم بدون کمک فرکانس رادیویی خارجی.

طراحی اتاقک مدولار:ساخته شده از فولاد ضد زنگ 304/316L با سطوح داخلی الکترو-براق شده (Ra<= 0.4 um), minimizing outgassing and vacuum cycle times.

پمپ های زبر و ریشه:پمپ‌های پره‌ای دو مرحله‌ای که با دمنده‌های تقویت‌کننده مکانیکی جفت می‌شوند، زبری اولیه و بارهای گاز زیاد را در حین تزریق راکتیو N2 یا C2H2 کنترل می‌کنند.

پمپ های خلاء بالا:پمپ‌های مولکولی توربوی شناور مغناطیسی (1200 - 3200 L/s) سرعت پمپاژ بالایی را برای بخار آب باقیمانده و گازهای سبک حفظ می‌کنند.

سوپاپ و سنج:شیرهای دروازه پنوماتیک، فلنج‌های آب‌بندی با خلاء بالا-ISO/CF و سنج‌های یونیزاسیون کاتد ترکیبی پیرانی/هت{1} که مستقیماً در حلقه اینترلاک PLC ادغام شده‌اند.

اهداف کاتدی سازگار
فلزات خالص:Ti، Cr، Al، Zr، Cu، Ni، Ag، Mo، W

آلیاژها و ترکیبات:TiAl، CrAl، TiSi، WC، اهداف گرافیتی برای رسوب-مثل کربن (DLC) الماس

مواد بستر
فلزات سخت و کاربیدها:کاربیدهای سیمانی (WC{0}}Co)، فولاد سریع- (HSS)، درج برش فولاد ضد زنگ

نیمه هادی ها و سرامیک ها:ویفر سیلیکونی، آلومینا (Al2O3)، سرامیک فنی مهندسی

ابزار برش و قالب:رسوب قلع، TiAlN و CrN روی مته ها، آسیاب های انتهایی و قالب های مهر زنی برای افزایش سختی سطح تا 2500 - 3500 HV و کاهش اصطکاک.

اجزای خودرو:لایه‌های{0}}مقاوم و با اصطکاک کم- روی رینگ‌های پیستون، پین‌های انژکتور و دندانه‌های چرخ دنده سایش دارند.

پوشش های سخت تزئینی:پوشش های رنگی PVD (طلا، رزگلد، گن متال، تیتانیوم سیاه) برای محفظه های سخت افزاری و لوازم الکترونیکی مصرفی.

لایه های نازک عملکردی:لایه های رسانا و مانع برای بسته بندی میکروالکترونیک و نیمه هادی.

اندازه اتاقک:تغییرات حجم مقیاس شده مطابق با هندسه دسته ای خاص و ردپای تولید.

هیبریداسیون منبع:ادغام‌های چند{0} کاتدی که منابع قوس کاتدی را با کاتدهای کندوپاش مگنترون نامتعادل (UBMS) برای فیلم‌های چند لایه گرادیان ترکیب می‌کنند.

تثبیت بستر:جک های سیاره ای سفارشی، آرایه های گرمایش موضعی تا 600 درجه و ورودی های برق سفارشی شده.

یکپارچه سازی نرم افزار:منطق دستور العمل PLC سفارشی، ثبت داده های SCADA، و تنظیمات انطباق صنعتی.

تشخیص نشت:آزمایش طیف‌سنج جرمی هلیوم بر روی تمام محفظه‌ها و درزهای جوش، تضمین نرخ نشت کلی<= 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s.

بازرسی ایمنی برق:آزمایش مقاومت دی الکتریک با پتانسیل بالا، بررسی تداوم اتصال به زمین، و تأیید پاسخ اینترلاک قبل از بسته بندی.

قابلیت ردیابی مواد:گزارش‌های آزمایش مواد (MTR) برای سازه‌های فولادی ضد زنگ، آب‌بندی‌های خلاء و اجزای عایق ولتاژ بالا-.

اجرای آزمایشی قبل از ارسال:72-ساعت آزمایش خشک مداوم مجموعه پمپاژ، درایوهای چرخشی و منابع تغذیه تحت سیکل های شبیه سازی شده.

راهنمای آماده سازی سایت:Utilities documentation covering floor load limits, cooling water flow rates (>15 m^3/h در 20 - 25 درجه)، استخراج اگزوز، و قطرات الکتریکی (380V/480V، 3 فاز، 50/60Hz).

راه اندازی و پذیرش:تست پذیرش کارخانه (FAT) در مرکز ما؛ آزمایش پذیرش سایت (SAT) و تحویل فرآیند در{0}}سایت توسط مهندسان مقیم اجرا شد.

پشتیبانی چرخه حیات:ایمن تشخیص از راه دور VPN، انبار کردن موجودی قطعات یدکی (هدف، سپر، مهر و موم)، و آموزش تعمیر و نگهداری تکنسین محلی.