تجهیزات لایه نازک قوس کاتدی

سیستم رسوب‌گذاری بخار فیزیکی (PVD) با استفاده از قوس‌های الکتریکی با جریان کم-ولتاژ- محلی برای تبخیر اهداف کاتدی جامد به پلاسمای کاملاً یونیزه شده. نرخ یونیزاسیون بالا (40%-80%) باعث ایجاد پیوند اتمی متراکم-سطح و تنش فشاری بالا می‌شود، و امکان رسوب-سرعت بالای پوشش‌های مقاوم در برابر سایش و تزئینی روی فولادهای پرسرعت (HSS)، ابزارهای برش کاربید، اجزای دستگاه‌های خودرو و تجهیزات پزشکی را فراهم می‌کند.

راندمان یونیزاسیون بالا:سرعت یونیزاسیون پلاسما به 40%-80% می‌رسد که از چسبندگی بهتر لایه-به بستر اطمینان حاصل می‌کند.

کاتدهای مدولار:مونتاژ هدف تغییر سریع-زمان تعمیر و نگهداری را به حداقل می رساند. سازگار با کاتدهای استوانه ای مسطح و قابل چرخش.

کنترل گاز حلقه بسته{{0}:کنترل‌کننده‌های جریان جرمی MKS فشار جزئی گاز راکتیو دقیق را برای فیلم‌های ترکیبی (TiAlN، TiCN) حفظ می‌کنند.

چرخش سیاره ای چند محوری:درایوهای چرخش و چرخش سفارشی شده یکنواختی ضخامت (5±٪) را در هندسه های پیچیده سه بعدی تضمین می کنند.

عملکرد دو حالته-:از تبخیر قوس DC و ادغام کندوپاش بایاس پالس برای معماری‌های چند لایه پشتیبانی می‌کند.

پمپ های خشن:ترکیب ریشه و پمپ پره دوار برای پمپ سریع-از اتمسفر تا 10 Pa.

پمپ خلاء بالا:پمپ توربومولکولی مغناطیسی (1600-3200 L/s) که فشار پایه آزاد هیدروکربن- را تضمین می‌کند.

سوپاپ و سنج:دریچه‌های دریچه‌ای با خلاء بالا- پنوماتیک با اینترلاک پیرانی و یونیزاسیون کاتد سرد برای جلوگیری از برگشت روغن.

[راهنمای تصویری برای تولید کننده وب]:عکس شماتیک یا واضحی از طرح لوله کشی خلاء، برجسته کردن پمپ توربومولکولی و موقعیت دریچه پنوماتیکی درج کنید.

اهداف کاتد استاندارد (خلوص بیشتر یا مساوی 99.95٪)
فلزات انتقالی:Ti، کروم، Zr، Al، TiAl (نسبت های اتمی 50/50، 33/67)، CrAl، W، Nb، Si.

آلیاژها و ترکیبات:گرافیت (برای لایه های میانی DLC)، فولاد ضد زنگ.

سازگاری بستر و پیش{0}درمان
مواد:WC-ابزار برش شرکتی، برش‌های حباب‌دار، برنج، قالب‌های مهر زنی، قالب‌های تزریق، آلیاژهای تیتانیوم (درجه 5) و فولاد ضد زنگ.

قبل از-درمان:چربی زدایی با حلال اولتراسونیک و تمیز کردن در محل بمباران یونی (پلاسما اچ Ar+) در داخل محفظه قبل از رسوب.

ابزار برش و شکل دهی:پوشش‌های TiN، TiAlN، و AlCrN سختی سطح را تا 3000-3500 HV بالا می‌برند، دهانه‌های حرارتی و سایش ساینده را سرکوب می‌کنند.

اجزای خودرو:پوشش‌های کاهش‌دهنده اصطکاک برای رینگ‌های پیستون، پین‌های تزریق سوخت و اجزای دنده.

ایمپلنت های پزشکی:پوشش های سخت TiN و ZrN زیست سازگار در تعویض مفصل ارتوپدی و پیچ های جراحی.

سخت افزار تزئینی:تولید طیف رنگی (برنج طلایی، رزگلد، سیاه متال، خاکستری تیتانیوم) از طریق تنظیم گاز واکنشی.

هندسه محفظه ای:تنظیمات بارگیری عمودی ({0}}نصب شده یا روی زمین-ایستاده) یا جلوی افقی-.

پیکربندی منبع:منابع مجرای مغناطیسی قوس کاتدی فیلتر شده (FAC) برای حذف ذرات درشت برای الکترونیک نوری یا دقیق.

اتوماسیون:بازوهای بارگیری رباتیک، ادغام اتصال AGV، و پروتکل های ثبت اطلاعات MES.

تشخیص نشت:آزمایش طیف سنج جرمی هلیوم بر روی تمام محفظه ها و درزهای جوش (کمتر یا مساوی 1 × 10-4 Pa·m3/s).

ایمنی برق:مقاومت عایق ولتاژ بالا، تداوم اتصال به زمین، و تأیید عملکرد قفل PLC.

اجرای آزمایشی (FAT):72-ساعت خشک مداوم-آزمایش اجرا به اضافه آزمون رسوب پوشش استاندارد که از طریق تست Calo-test (ضخامت) و خراش تست (چسبندگی) ارزیابی شد.

بسته مستندات:شماتیک های الکتریکی، نمودارهای P&ID، کدهای منبع PLC، گواهی های مواد و گزارش های FAT.

آماده سازی سایت:نقشه های طرح بندی دقیق، معیارهای آب خنک کننده و مشخصات توزیع برق 4 هفته قبل از ارسال ارائه شده است.

راه اندازی:مونتاژ مکانیکی در سایت، کالیبراسیون خلاء، و تحویل دستور العمل توسط مهندسان ارشد فرآیند-.

آموزش:در مورد تعمیر و نگهداری سخت‌افزار، عیب‌یابی خلاء، و پروتکل‌های ایمنی،-دستورالعمل‌هایی در دست است.

پشتیبانی:یکپارچه‌سازی نرم‌افزار تشخیص از راه دور برای عیب‌یابی{0}زمان واقعی PLC، با پشتیبانی موجودی قطعات یدکی منطقه‌ای.