سیستم لایه نازک قوس خلاء

سیستم لایه نازک قوس خلاء صنعتی از تبخیر قوس کاتدی برای رسوب لایه های نازک فلزی، آلیاژی و سرامیکی متراکم، بسیار چسبنده استفاده می کند. یک قوس-جریان بالا و ولتاژ پایین-مواد کاتد جامد را به یک جریان پلاسمای بسیار یونیزه شده تبخیر می‌کند (نرخ یونیزاسیون 40% - 80%)، و تضمین می‌کند که لایه فوق‌العاده-برای-استحکام پیوند بستر و نرخ رسوب‌گذاری بالا باشد.

این پلتفرم که برای تولید صنعتی و تحقیقات مواد پیشرفته طراحی شده است، پیکربندی‌های چند{0} کاتدی، مدیریت دقیق گاز راکتیو، و کنترل فرآیند خودکار برای پوشش‌های صنعتی مانند TiN، TiAlN، CrN و DLC را ادغام می‌کند.

یونیزاسیون پلاسما بالا:یونیزاسیون قوس کاتدی (40% - 80%) باعث افزایش هسته‌زایی لایه متراکم می‌شود و نقص‌های ریزساختار ستونی را از بین می‌برد.

افزایش قدرت چسبندگی:پاکسازی یونی با انرژی بالا-درجا به بارهای خراش بحرانی (Lc) بیش از 40 نیوتن روی فولاد ابزار (تایید ASTM C1624) دست می یابد.

فیلتر مغناطیسی حلقوی (اختیاری):مسیرهای پلاسما را برای به دام انداختن و از بین بردن قطرات ماکرو منحرف می کند و باعث ایجاد ناقص-روکش های نانو صاف-آزاد می شود.

کنترل واکنشی حلقه بسته{{0}:کنترل‌کننده‌های جریان جرمی (MFCs) N2، O2، C2H2 و Ar را برای رسوب‌گذاری ترکیبات استوکیومتری به دقت تنظیم می‌کنند.

تعمیر و نگهداری سریع:مونتاژ کاتد{0}}سریع امکان تعویض هدف را در عرض 30 دقیقه می دهد.

مرحله زبر و ریشه:مستقیم{0}}پره چرخشی و پمپ تقویت کننده مکانیکی برای تخلیه سریع تا 10 Pa.

مرحله خلاء بالا:پمپ انتشار روغن با تله سرد نیتروژن مایع یا پمپ توربومولکولی معلق مغناطیسی (1600 L/s) که به کمتر از 5 x 10^-4 Pa می رسد.

گیج و اینترلاک:دو گیج یونیزاسیون پیرانی و کاتد سرد جفت شده با شیرهای دروازه پنوماتیک اتوماتیک و اینترلاک PLC.

Cathode Targets (Purity >= 99.95%):
فلزات:Ti، Cr، Al، Zr، Cu، Mo، W، Ag، Au

آلیاژها/ترکیبات:TiAl، TiSi، CrAl، WC، گرافیت (C)

مواد بستر:
فولادهای ابزار:SKH51، M2، D2، درج کاربید

آلیاژها:فولاد ضد زنگ 304/316L، Inconel، Ti-6Al-4V

سرامیک/شیشه:آلومینا، کوارتز (فعال سازی سطحی مورد نیاز است)

ابزار برش و شکل دهی:پوشش‌های TiN، TiAlN، و AlCrN روی مته‌ها، آسیاب‌های انتهایی و قالب‌های مهر زنی (سختی: 2500 - 3200 HV).

اجزای خودرو:پوشش‌های مقاوم در برابر اصطکاک-روکش‌های-روی رینگ‌های پیستون و پین‌های تزریق سوخت.

سخت افزار تزئینی:روکش های فلزی کاربردی (طلا، رزگلد، مشکی تفنگی) برای سخت افزار مصرف کننده.

ایمپلنت های زیست پزشکی:پوشش های سخت زیست سازگار در دستگاه های جراحی و دندانپزشکی (پروفیل های سازگار با ISO 10993).

مقیاس اتاقی:محفظه‌های مستطیلی یا استوانه‌ای بزرگ برای دسته‌های-با حجم بالا.

تنظیمات ترکیبی:منبع‌های قوس کاتدی جفت‌شونده-تکنولوژی دوگانه با کندوپاش مگنترون نامتعادل (UBMS).

حالت های تعصب:ادغام بایاس RF برای زیرلایه های عایق یا نیمه هادی.

یکپارچه سازی داده ها:پروتکل های OPC UA / Modbus TCP برای اتصال MES.

اجرا شده تحت استانداردهای مدیریت کیفیت ISO 9001:

تشخیص نشت هلیوم:آزمایش طیف سنج جرمی روی تمام جوش ها (نرخ نشت سیستم<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s, ISO 3529 compliant).

ایمنی برق:مقاومت عایق و تداوم اتصال به زمین طبق CE / IEC 60204-1 ممیزی شده است.

اعتبار سنجی عملکردی:اجرای خشک مکانیکی و الکتریکی مداوم 72 ساعته.

تست پذیرش کارخانه (FAT):رسوب آزمایشی تأیید یکنواختی ضخامت (+/- 5%) و معیارهای چسبندگی در کوپن‌های آزمایشی مشتری.

تسهیلات قبل از-بررسی:Complete utility blueprint detailing cooling water (>= 5 m^3/h)، ظرفیت نیرو، و تهویه اگزوز.

در{0}}راه اندازی سایت:نظارت بر نصب مکانیکی، اتصال ابزار، و صلاحیت خلاء توسط مهندسان میدان.

آموزش اپراتور:برنامه عملی 5-روزه که عملیات معمول، تعمیر و نگهداری، جایگزینی هدف و برنامه‌نویسی PLC را پوشش می‌دهد.

خدمات چرخه حیات:تشخیص ایمن از راه دور VPN و ارسال قطعات یدکی حیاتی 48 ساعته.