تجهیزات PVD تبخیر قوس

سیستم PVD تبخیر قوس کاتدی صنعتی از قوس‌های الکتریکی با جریان کم-ولتاژ- برای تبخیر اهداف کاتدی جامد در محیط خلاء استفاده می‌کند. این مکانیسم به نرخ یونیزاسیون فلزی بیش از 80 درصد دست می یابد که از استحکام پیوند شیمیایی و چسبندگی بستر بالا در مقایسه با تبخیر حرارتی یا کندوپاش استاندارد مگنترون اطمینان حاصل می کند.

این سیستم که برای تولید مداوم چند شیفتی طراحی شده است، یک محفظه خلاء فولادی ضد زنگ سنگین-، مجموعه‌های فرمان کاتدی مدولار، و یک معماری کنترل فرآیند خودکار مبتنی بر PLC- را ادغام می‌کند.

راندمان یونیزاسیون بالا:تبخیر مستقیم کاتد، پلاسمای فلزی کاملاً یونیزه شده را برای رشد لایه نازک- متراکم و دارای نقص-در دماهای متوسط ​​تولید می‌کند.

گزینه قوس فیلتر شده مغناطیسی:سیم‌پیچ‌های فرمان الکترومغناطیسی یکپارچه خروج ذرات بزرگ (قطرات) را به حداقل می‌رسانند تا پوشش صاف برای ابزار دقیق ارائه شود.

رسوب چند لایه / گرادیان:عملیات چند کاتدی همزمان، سنتز لایه‌های انتقال درجه‌بندی شده (مثلاً Ti/TiN/TiAlN) را بدون شکستن خلاء امکان‌پذیر می‌سازد.

بسته-کنترل فرآیند حلقه:حلقه‌های بازخورد زمانی واقعی، جریان گاز راکتیو (نیتروژن، استیلن، اکسیژن) را از طریق کنترل‌کننده‌های جریان جرمی با دقت بالا (MFCs) تنظیم می‌کنند تا فشار جزئی هدف را حفظ کنند.

پشته پمپاژ:خشن‌کاری اولیه از پمپ‌های پره‌ای دو مرحله‌ای-که توسط دمنده‌های Roots پشتیبانی می‌شوند، استفاده می‌کند. دستیابی به خلاء بالا متکی به پمپ‌های انتشار-بالا یا پمپ‌های توربومولکولی است.

شیرآلات و لوله کشی:دریچه های زاویه ای پنوماتیک و دریچه های دروازه الکتروپنوماتیک به طور خودکار مناطق محفظه را ایزوله می کنند. منیفولدها از لوله های فولادی ضد زنگ فلنج دار ISO/KF و CF با مهر و موم های مسی نقره ای- یا حلقه های Viton O- استفاده می کنند.

تشخیص نشت:پورت های آزمایش طیف سنج جرمی هلیوم یکپارچه تشخیص را تا 10^-10 Pa*m^3/s امکان پذیر می کند.

مواد کاتدی سازگار
فلزات خالص:آلیاژهای Ti، Cr، Al، Zr، Cu، Mo، W، Ag، TiAl (به عنوان مثال، نسبت اتمی 50/50 یا 33/67).

اهداف مرکب:TiC، CrC، WC.

سازگاری بستر
فولادهای ابزار:فولادهای پرسرعت (M2، H13) و کاربیدهای سیمانی (WC-درج‌های Co).

آلیاژهای ساختاری:فولاد ضد زنگ، آلیاژهای تیتانیوم (TC4) و سوپرآلیاژهای مبتنی بر نیکل{1}}.

سرامیک مهندسی:نیترید سیلیکون و آلومینا با پیش تصفیه-رسانا.

ابزار برش و شکل دهی:TiN, TiAlN, and AlTiN coatings on carbide drills and milling cutters. Achieves surface hardness >= 3000 HV و عمر سایش ابزار را تا 200% افزایش می‌دهد - 400%.

اجزای خودرو:پوشش‌های ضد سایش روی رینگ‌های پیستون، شیرهای گاز و سوزن‌های انژکتور سوخت. ضریب اصطکاک را به 0.15 - 0.25 در برابر فولاد کاهش می دهد.

ایمپلنت های پزشکی: Biocompatible TiN and ZrN layers applied to orthopedic joints and dental abutments, verified via scratch adhesion testing (Critical Load Lc >= 70 N).

قالب ها و قالب ها:پوشش های CrN یا DLC روی قالب های تزریق پلاستیک و مهر زنی برای از بین بردن سایش چسب و سهولت آزاد شدن قطعه کار.

هندسه محفظه ای:پیکربندی‌های بارگیری -نوع بارگیری یا جلوی افقی-عمودی.

چیدمان منبع:موقعیت یابی سفارشی کاتد برای هندسه های قطعه کار سه بعدی (به عنوان مثال، قالب های اکستروژن طولانی یا پره های توربین).

ارتقاء ژنراتور تعصب:ادغام ماژول‌های هیبریدی- کندوپاش مگنترون تکانه بالا (HIPIMS).

یکپارچه سازی اتوماسیون:رابط های بارگیری رباتیک و ریل های خودکار انتقال وسایل برای محیط های اتاق تمیز.

قبل از تست پذیرش کارخانه (FAT)، سیستم ها تحت:

تست نشت خلاء:تأیید طیف‌سنج جرمی هلیوم در تمام جوش‌ها و مهر و موم‌ها.

تایید ایمنی الکتریکی:بررسی مقاومت عایق، تداوم زمین و منطق اینترلاک مطابق با استانداردهای CE/UL.

Functional Burn-در:72-ساعت آزمایش خشک مداوم درایوهای چرخش، سوئیچ‌های جریان و ارتباطات PLC.

اجرای تست پوشش:رسوب نمونه از طریق اندازه‌گیری ضخامت لایه گوی{0}}و آزمایش خراش فرورفتگی راکول تأیید شد.

آماده سازی سایت:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow (>15 m^3/h، 20 - 25 درجه سانتیگراد)، هوای فشرده، تهویه، و قطرات الکتریکی (380V/480V، 3 فاز، 50/60 هرتز).

راه اندازی:نصب-در سایت، کالیبراسیون خلاء، و بهینه سازی دستور العمل توسط مهندسان ارشد فرآیند.

آموزش اپراتور:در مورد تعمیر و نگهداری معمول، جایگزینی هدف و عملیات SCADA،-دردسترس است.

پشتیبانی پس از فروش-:دسترسی تشخیصی از راه دور از طریق VPN صنعتی ایمن. پاسخ فنی تضمین شده در عرض 24 ساعت