سیستم لایه نازک تبخیر قوس

سیستم لایه نازک تبخیر قوس کاتدی صنعتی برای رسوب{0}بالای پوشش‌های ترکیبی فلزی، آلیاژی و سرامیکی متراکم، با چسبندگی قوی طراحی شده است. این سیستم از طریق تخلیه کم-ولتاژ و جریان بالا-روی اهداف کاتدی جامد، مواد را مستقیماً به حالت پلاسمای بسیار یونیزه تبخیر می‌کند (نسبت یون فلز 40% - 80%). این امر یونهای پرانرژی را به سطح مشترک زیرلایه هدایت می کند و چسبندگی پوششی برتر را در مقایسه با تبخیر حرارتی استاندارد یا روشهای کندوپاش معمولی ایجاد می کند.

این سیستم که برای محیط‌های تولید و مراکز تحقیقات مواد پیشرفته ساخته شده است، لایه‌های سخت و مقاوم در برابر سایش-مانند TiN، TiAlN، CrN و AlCrN{2}} را روی ابزارهای برش، قالب‌های شکل‌دهی و اجزای مکانیکی دقیق قرار می‌دهد. محفظه خلاء مدولار دارای پیکربندی‌های چند{4}}کاتدی مقیاس‌پذیر و چرخش سیاره‌ای 3 محوری خودکار برای اطمینان از تکرارپذیری دسته‌ای-به دسته است.

فناوری کاتد مغناطیسی{0}}فرمان:میدان‌های مغناطیسی حلقه بسته، نقطه کاتد را در سراسر سطح هدف جارو می‌کنند، نرخ بهره‌برداری هدف را بالای 55 درصد افزایش می‌دهند و دهانه‌های هدف موضعی را سرکوب می‌کنند.

پلاسم با سرعت یونیزاسیون بالا نسبت یون های فلزی را تا 80 درصد ایجاد می کند، انرژی جنبشی بالایی برای رشد لایه متراکم و انتشار متالورژیکی عمیق در سطح مشترک بستر فراهم می کند.

رسوب گذاری چند لایه قابل برنامه ریزی:PLC صنعتی همراه با معماری کنترل HMI، توالی خودکار گازهای راکتیو (N2، O2، C2H2) را برای معماری‌های شیب عملکردی و پوشش نانولایه اجرا می‌کند.

در -اچ پلاسما درجا:بمباران یون فلزی و مراحل تمیز کردن مگنترون نامتعادل قبل از رسوب را برای حذف اکسیدهای بومی و آلودگی های سطحی ادغام می کند.

زیرسیستم خلاء برای چرخه‌های پایین پمپ سریع-و فشار عملیاتی پایدار تحت ورودی گاز راکتیو پیوسته مهندسی شده است:

مرحله زبر و ریشه:مستقیم{0}}پره چرخشی یا پمپ پیچ خشک با دمنده Roots جفت شده و ظرف 5 دقیقه محفظه را از فشار اتمسفر به 10 Pa تخلیه می کند.

مرحله خلاء بالا:پمپ توربومولکولی شناور مغناطیسی که سرعت پمپاژ حجمی بالایی را برای بخار آب و گازهای باقیمانده ارائه می‌کند و اهداف فشار پایه زیر 5.0 x 10^-4 Pa را تضمین می‌کند.

سوپاپ و سنج:دریچه‌های دروازه‌ای پنوماتیک و-دریچه‌های زاویه‌ای پنوماتیک الکتریکی که با سنج‌های ترکیبی پیرانی/پنینگ با برد کامل- برای اینترلاک‌های ایمنی خودکار یکپارچه شده‌اند.

تنظیم فشار:بازخورد مانومتر خازنی حلقه بسته- متصل به-کنترل‌کننده‌های جریان جرمی با دقت بالا (MFC) برای تثبیت فشار جزئی گاز راکتیو در طول رسوب راکتیو.

مواد هدف
فلزات خالص:Ti، Cr، Al، Zr، Cu، Mo، W، Nb.

اهداف آلیاژی:TiAl (50/50، 33/67)، TiSi، CrAl.

کربن:اهداف گرافیت برای الماس{0}}مانند رسوب هیبریدی کربن (DLC).

سازگاری بستر
فلزات سخت / کاربیدهای سیمانی:WC-درج‌های برش، آسیاب انتهایی و ابزارهای قالب.

فولادهای سریع-(HSS):شیرآلات، مته های پیچشی و براچ.

فولادهای مهندسی:فولاد ضد زنگ، آلیاژهای تیتانیوم و سوپرآلیاژهای مبتنی بر{0}}نیکل{1}}در دمای بالا.

سرامیک سازه:اجزای آلومینا و نیترید سیلیکون که نیاز به اصلاح تریبولوژیکی دارند.

ابزار برش و ماشینکاری:رسوب پوشش‌های TiAlN و AlCrN روی درج‌های کاربید برای افزایش مقاومت در برابر اکسیداسیون تا 900 درجه سانتی‌گراد و افزایش عمر ابزار در طول برش خشک با سرعت بالا.

اجزای خودرو:پوشش سخت رینگ های پیستون، بالابر سوپاپ ها و پین های تزریق سوخت برای کاهش ضرایب اصطکاک مرزی زیر 0.1 و جلوگیری از خراشیدگی.

قالب ها و قالب ها:استفاده از فیلم‌های CrN و TiCN بر روی قالب‌های تزریق پلاستیک و قالب‌های مهر زنی فلزی برای جلوگیری از سایش چسب و برآمدگی مواد.

سخت افزار هوافضا:پوشش‌های مقاوم در برابر فرسایش{0} بر روی بست‌های دقیق و اجزای کمپرسور که در محیط‌های خورنده کار می‌کنند.

هندسه محفظه ای:گودال عمودی-سبک بارگیری یا جلو افقی-طراحی درهای بارگیری متناسب با چیدمان کف مغازه.

یکپارچه سازی منبع ترکیبی:پیکربندی‌های فناوری دوگانه- که اواپراتورهای قوس کاتدی را با کاتدهای کندوپاش مگنترون نامتعادل (UBMS) یا تفنگ‌های یونی خطی ترکیب می‌کنند.

سطح اتوماسیون:گزینه های یکپارچه سازی کارخانه از جمله بازوهای بارگیری رباتیک خودکار یا نصب دیوار پارتیشن اتاق تمیز.

الکترونیک قدرت:ژنراتورهای بایاس پالسی سفارشی شده برای عایق کاری زیرلایه ها یا مواد پایه حساس به دما{0}}.

تشخیص نشت:آزمایش نشت طیف‌سنج جرمی هلیوم روی تمام محفظه‌های خلاء و درزهای جوش انجام شد و نرخ نشت کل را زیر 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s حفظ کرد.

ممیزی ایمنی برق:مقاومت عایق و تست تداوم اتصال به زمین مطابق با استانداردهای CE و ایمنی الکتریکی.

اجرای خشک عملکردی:تست چرخه خشک خودکار پیوسته 72 ساعته درایوهای چرخش مکانیکی، توالی سوپاپ ها و اینترلاک های جریان آب خنک کننده.

تأیید فرآیند (FAT):رسوب اختیاری پوشش‌های TiN مرجع روی مشتری{0}}کوپن‌های آزمایشی ارائه شده برای تأیید یکنواختی ضخامت لایه، نانو-سختی و استحکام چسبندگی خراش قبل از جعبه‌بندی.

راهنمای آماده سازی سایت:مستندات دقیق مهندسی تاسیسات شامل محدودیت های بارگذاری کف، مجرای خروجی اگزوز، مشخصات آب سرد، و قطرات الکتریکی 4 هفته قبل از تحویل ارائه شده است.

در{0}}راه اندازی سایت:مهندسان خدمات میدانی بر موقعیت مکانیکی، اتصالات ابزار، آب بندی خلاء و یکپارچه سازی الکتریکی نظارت می کنند.

آموزش فرآیندی:آموزش{0}}در مورد تعمیر و نگهداری محفظه، پروتکل‌های جایگزینی هدف، عیب‌یابی خلاء، و مدیریت دستور پخت.

تشخیص از راه دور:دروازه VPN صنعتی ایمن یکپارچه در کابینه کنترل برای به روز رسانی نرم افزار از راه دور، تجزیه و تحلیل ثبت پارامترها و تشخیص خطا.