تجهیزات رسوبی کامپوزیت PVD صنعتی برای ساخت فیلم نازک-چند جزئی، چند لایه و نانو-کامپوزیت طراحی شده است. این سیستم تبخیر حرارتی، تبخیر پرتو e{5}}و منابع کندوپاش مگنترون را در یک محیط خلاء یکپارچه می کند تا ترکیب فیلم، وضوح رابط و تنش پسماند را کنترل کند. این معماری که برای تحقیق و توسعه و تولید مستمر ساخته شده است، دارای فشار پایه کم، پیکربندی منبع مدولار و دسترسی تمیز به تعمیر و نگهداری است.
مشخصات فنی
|
پارامتر |
محدوده / مقدار مشخصات |
|
فشار خلاء نهایی |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (cryo/turbomolecular configuration) |
|
پمپ-زمان خاموشی |
اتمسفر تا 6.0 x 10^-4 Pa in<= 15 minutes (clean, dry, empty chamber) |
|
اندازه نگهدارنده بستر |
پیکربندیهای سفارشی: تا قطر{0}} میلیمتر صفحه تخت یا مراحل سیارهای |
|
یکنواختی ضخامت فیلم |
< +/- 1.5% across standard working area (verified via in-situ optical monitoring) |
|
محدوده دمای بستر |
محیط تا 800 درجه سانتیگراد (کنترل PID، کوارتز هالوژن/گرمایش مقاومتی) |
|
منابع رسوبی |
تفنگهای چند{0} جیبی-، قایقهای حرارتی، و کاتدهای مگنترون RF/DC |
|
مواد اتاقک |
304L/316L فولاد ضد زنگ، الکترو-دیوارهای داخلی صیقلی (Ra<= 0.2 um) |
|
رابط کنترل سیستم |
معماری PLC + IPC، اجرای خودکار دستور العمل، ثبت SCADA |
ویژگی های کلیدی
یکپارچه سازی منبع مدولار:درگاههای محفظهای، عملیات همزمان یا متوالی منابع تبخیر و کندوپاش را بدون آلودگی متقاطع انجام میدهند.
دستکاری زیرلایه دینامیک:مکانیسمهای درایو چرخش سیارهای یا چرخشی چند محوره، پوشش یکنواخت را روی بسترهای پیچیده سهبعدی و ترانشههای عمیق تضمین میکنند.
در-درگاههای نظارت درجا:فلنجهای از قبل تراز شده برای میکروبالانس کریستال کوارتز (QCM)، طیفسنجی انتشار نوری (OES) و نظارت نوری باند پهن (BOM).
یکپارچگی خلاء با خلوص{{0} بالا:فلنجهای فلزی مهر و موم شده (CF)، دریچههای دروازهای پنوماتیک، و آزمایش نشت طیفسنج جرمی هلیوم تا 1.0 x 10^-10 Pa*m3/s.
ایمنی اینترلاک خودکار:بازخورد حسگر زمان واقعی در برابر خرابی آب خنک کننده، اتلاف هوای فشرده و ناهنجاری های دمایی بیش از- محافظت می کند.
پیکربندی سیستم خلاء
پمپ های زبر و ریشه:پمپهای پیچ خشک بدون روغن{0}}ترکیب با دمندههای ریشهای از برگشت هیدروکربن به محفظه فرآیند جلوگیری میکنند.
پمپهای خلاء-بالا:پمپهای توربومولکولی با معلق مغناطیسی یا پمپهای برودتی هلیوم حلقه بسته-بر اساس نیاز بار گاز مورد نظر انتخاب شدهاند.
تنظیم فشار:کنترلکنندههای دریچه گاز یکپارچه شده با مانومترهای خازنی، فشار فرآیند (0.1 تا 10 Pa) را در طول اجرای راکتیو حفظ میکنند.
سازگاری مواد و بستر
مواد رسوبی
فلزات:Ti، Al، Cr، Cu، Au، Ag، Ni، Mo، W، Pt
اکسیدها و دی الکتریک ها:SiO2، TiO2، Ta2O5، Al2O3، HfO2
نیتریدها و کاربیدها:TiN، TiAlN، CrN، Si3N4
مواد بستر
نیمه هادی ها:ویفرهای سیلیکونی (100 میلی متر تا 300 میلی متر)، شیشه، کوارتز، یاقوت کبود
فلزات و آلیاژها:فولاد ضد زنگ، آلیاژهای تیتانیوم، فولادهای ابزار، سوپرآلیاژها
سرامیک و پلیمر:فیلم های آلومینا، زیرکونیا، پلی آمید
برنامه های کاربردی
فیلترهای تداخل نوری:پوششهای چند لایه ضد-بازتابی (AR)، فیلترهای باند، و آینههای بازتابنده بالا-برای لیزرها و حسگرها.
پوششهای سخت مقاوم در برابر سایش: پوشش های نیترید نانوکامپوزیتی (TiAlN/Si3N4) بر روی ابزارهای برش دقیق و شیرآلات خودرو.
لایه های نازک میکروالکترونیک:لایههای مانع رسانا، لایههای بذر و پشتههای متالیزاسیون تماسی برای بستهبندی نیمهرسانا.
فیلم های انرژی عملکردی:اکسیدهای رسانای شفاف (TCO) و لایه های جاذب برای دستگاه های فتوولتائیک و حسگر.
گزینه های سفارشی سازی
ابعاد اتاقک:حجم مقیاس شده از مقیاس تحقیق و توسعه (مکعب 400 میلی متر) تا مقیاس تولید (استوانه قطر{1}} میلی متر).
طرح بندی پورت منبع:موقعیت یابی فلنج سفارشی برای ادغام-منابع یون شخص ثالث، رسوب دهی به کمک پلاسما (PAD) یا ژنراتورهای بایاس RF.
Load-ادغام قفل:تنظیمات ابزار خوشهای -قفل، تک-بار ویفر-یا چند{3}}محفظه برای جلوگیری از اکسیداسیون بارگذاری دستی.
کنترل کیفیت و انطباق جهانی
انطباق جهانی برق و ایمنی:کابینت های کنترل ساخته شده بر اساس دستورالعمل های UL 508A / NFPA 79 (آمریکای شمالی)، CE (اروپا)، و SEMI S2/S8 EHS.
تست خلاء:محفظه های جوش داده شده قبل از تکمیل سطح تحت تشخیص نشت طیف سنج جرمی هلیوم قرار می گیرند.
بازرسی ابعادی:تأیید دستگاه اندازهگیری مختصات (CMM) صفحات نصب منبع و تحملهای بستر.
آزمون پذیرش کارخانه (FAT):72-ساعت خشک مداوم-آزمایش اجرا، کاهش فشار پایه، منحنیهای کاهش پمپ، و گزارشهای پاسخ PLC را ثبت میکند.
نصب و پشتیبانی فنی
مهندسی قبل از{0} نصب:ارائه دستورالعمل های مورد نیاز تاسیسات (تعاینات آب و برق، جریان/فشار آب خنک کننده، تهویه خروجی، بارگیری از کف اتاق تمیز).
در{0}}راه اندازی سایت:مهندسان خدمات صحرایی بر نصب، اتصال خط خلاء، اتصال برق-و پمپ اولیه- نظارت دارند.
کمک تنظیم فرآیند:آزمایشی مشترک با تیمهای مهندسی مشتری برای تأیید یکنواختی فیلم و نرخ رسوب انجام میشود.
پشتیبانی چرخه حیات:ادغام ماژول تشخیص از راه دور برای عیبیابی{0}زمان واقعی PLC، که توسط موجودی قطعات یدکی محلی پشتیبانی میشود.
سوالات متداول
س: زمان تحویل برای یک سیستم سفارشی چقدر است؟
پاسخ: پیکربندیهای استاندارد به 16 تا 24 هفته از زمان اخذ تأییدیه تا آمادهسازی کارخانه، بسته به زمانهای هدایت پمپ خلاء نیاز دارند.
س: چگونه آلودگی متقابل-در طول رسوب گذاری چند منبع- مدیریت می شود؟
A: محفظه ها دارای محافظ فیزیکی بین منابع، دریچه های منبع جداگانه و حلقه های توزیع گاز جهت جلوگیری از مهاجرت ذرات هستند.
س: آیا می توان این تجهیزات را در یک اتاق تمیز ادغام کرد؟
ج: بله. سیستمها از طریق نصب دیوار (اتاق زرد / اتاق تمیز) و قرار دادن محفظه فرآیند در اتاق تمیز و قفسههای ابزار در تعقیب خدمات پشتیبانی میکنند.
س: چه الزامات ابزار باید قبل از تحویل آماده شود؟
A: Requirements include 3-phase power (configured to local 480V/380V standards), chilled cooling water (18 deg.C to 22 deg.C, >= 3 بار)، هوای فشرده (۶ بار خشک/فیلتر شده)، و خط خروجی پمپ خشن اختصاصی.
تگ های محبوب: تجهیزات رسوب کامپوزیت pvd، تولید کنندگان تجهیزات رسوب کامپوزیت pvd چین، تامین کنندگان، کارخانه, Dun filmproduksielyn
