تعمیر و نگهداری روزانه دستگاه پوشش PVD عمدتاً شامل جنبه های زیر است:
تجهیزات را به طور منظم تمیز کنید: از جمله تمیز کردن خارجی و تمیز کردن داخلی. تمیز کردن خارجی عمدتاً شامل تمیز کردن سطح بیرونی تجهیزات به موقع پس از استفاده روزانه برای از بین بردن گرد و غبار و لکه‌ها برای جلوگیری از تجمع طولانی مدتی است که بر اتلاف گرما و ظاهر تجهیزات تأثیر می‌گذارد. نظافت داخلی شامل تمیز کردن منظم اجزای کلیدی مانند محفظه خلاء و منبع پوشش، به ویژه دیواره داخلی محفظه جاروبرقی است که باید به طور مرتب با مواد شوینده مناسب تمیز شود تا بقایای پوشش و ناخالصی ها از بین برود.
بررسی و تعویض قطعات: به طور مرتب فیلترها، روغن پمپ خلاء، روغن روان کننده و سایر قطعات را بررسی و تعویض کنید. به عنوان مثال، مرتباً سطح روغن و کیفیت روغن پمپ خلاء را بررسی کنید و روغن پمپ خلاء را به موقع تعویض کنید تا از ناخالصی های بیش از حد در پمپ بر اثر خلاء تأثیر نگذارد. در همان زمان، خط لوله و اتصالات خلاء را بررسی کنید تا مطمئن شوید که به خوبی آب بندی شده اند. برای فیلترها و سیستم های روغن کاری نیز باید مرتباً بررسی و تعویض شوند تا از عملکرد طبیعی تجهیزات اطمینان حاصل شود.
به محیط کار تجهیزات توجه کنید: اطمینان حاصل کنید که دما، رطوبت و سایر شرایط محیط کار تجهیزات مناسب است تا از خرابی تجهیزات به دلیل عوامل محیطی جلوگیری شود. محل نصب تجهیزات باید ثابت و محکم باشد و فضای کافی در اطراف آن برای بهره برداری و نگهداری در نظر گرفته شود. محیطی که تجهیزات در آن قرار دارد باید تمیز و خشک نگه داشته شود. گرد و غبار و ناخالصی ها ممکن است در فرآیند پوشش مخلوط شده و کیفیت لایه فیلم را تحت تأثیر قرار دهند.
بازرسی و تعمیر و نگهداری حرفه‌ای: علاوه بر تعمیر و نگهداری روزانه، باید از متخصصان خواسته شود تا بازرسی جامع تجهیزات را به طور مرتب انجام دهند، از جمله تست خلاء، تست سیستم الکتریکی، بازرسی سایش قطعات مکانیکی و غیره.
عملیات و سوابق ایمن: اپراتورها باید به شدت از رویه‌های عملیاتی تجهیزات و رویه‌های عملیات ایمنی برای اطمینان از ایمنی شخصی و ایمنی تجهیزات پیروی کنند. در عین حال، یک سیستم ثبت نگهداری تجهیزات برای ثبت جزئیات زمان، محتوا، مشکلات یافت شده و راه حل های هر تعمیر و نگهداری ایجاد کنید، که به پیگیری تعمیر و نگهداری تجهیزات کمک می کند و مرجعی برای تعمیر و نگهداری بعدی ارائه می دهد.
